[发明专利]分析基板涂覆装置和方法

权利要求书

1.一种分析基板涂覆装置，包括：

用于支持可拆式施加器盒的可动施加器盒支架，所述施加器盒用 于将一定量的涂料组合物施加到分析基板上以在上面形成涂层从而 制成带涂层的分析基板；

用于使所述可动施加器盒支架以及其中支持的施加器盒在至少 一个方向上自动移动的定位机构；

用于将所述分析基板保持在涂料施加位置的分析基板支持机 构；

用于将所述分析基板提供给所述分析基板支持机构以便通过所 述施加器盒施加涂料的分析基板供应站；

用于从所述分析基板支持机构接收所述带涂层的分析基板的分 析基板接收站；以及

用于引导所述定位机构运动的控制机构，其用来移动所述可动施 加器盒支架，使得所述施加器盒以预定的图案将所述涂料施加到所述 分析基板上从而制造出所述带涂层的分析基板。

2.权利要求1的分析基板涂覆装置，其中所述施加器盒包括用于 容纳所述涂料组合物的储液池。

3.权利要求1的分析基板涂覆装置，其中所述施加器盒包括用于 将所述涂料组合物铺展到所述分析基板上的施加器设备。

4.权利要求3的分析基板涂覆装置，其中所述施加器盒的施加器 设备是涂抹设备。

5.权利要求1的分析基板涂覆机构，其中所述分析基板支持机构 包括用于将所述分析基板从所述分析基板供应站传送到所述分析基 板接收站的传送器设备。

6.权利要求1的分析基板涂覆装置，进一步包括用于支持第二可 拆式施加器盒的第二可动施加器盒支架。

7.权利要求6的分析基板涂覆装置，其中所述第一可动施加器盒 支架和第二可动施加器盒支架能够独立和同时地运动，其中每个都能 够向单独的分析基板施加单独的涂层。

8.权利要求7的分析基板涂覆装置，进一步包括至少一个附加的 可动施加器盒支架，其能够独立和同时地承载附加的施加器盒以向所 述分析基板施加单独的涂料组合物。

9.权利要求的分析基板涂覆装置，其中所述定位机构是X-Y-Z 定位机构，用于在垂直、向前和横向方向上自动移动所述施加器盒支 架以及其中支持的施加器盒。

10.权利要求9的分析基板涂覆装置，其中所述X-Y-Z定位机构 包括垂直支柱、横向轨道和向前轨道。

11.权利要求9的分析基板涂覆机构，其中所述X-Y-Z定位机构 包括垂直支柱、横向轨道和至少两个向前轨道。

12.权利要求1的分析基板涂覆机构，进一步包括用于干燥所述 分析基板上的所述涂层的干燥器。

13.权利要求1的分析基板涂覆装置，进一步包括用于打磨所述 带涂层的分析基板的涂层的装置。

14.权利要求1的分析基板涂覆装置，进一步包括用于从所述分 析基板供应站将分析基板弹出到所述分析基板支持机构上的弹出设 备。

15.权利要求1的分析基板涂覆装置，其中所述可动施加器盒支 架经构造以保持多于一个的施加器盒。

16.权利要求1的分析基板涂覆装置，其中所述控制机构可以经 构造以当处理单个分析基板时允许将所述施加器盒替换成第二施加 器盒。

17.权利要求1的分析基板涂覆装置，其中所述分析基板涂覆装 置是便携式的。

18.权利要求1的分析基板涂覆装置，其中所述施加器盒内的涂 料组合物包括硅烷、硅氧烷、硅流体、硅酮、聚硅氧烷、氟代硅烷、 有机硅烷或者其组合。

19.权利要求1的分析基板涂覆装置，其中所述施加器盒上面具 有可机读的图案。