[发明专利]镍膜形成用涂布液与镍膜及其制造方法有效
| 申请号: | 200680020587.6 | 申请日: | 2006-06-16 |
| 公开(公告)号: | CN101194041A | 公开(公告)日: | 2008-06-04 |
| 发明(设计)人: | 大塚良广;行延雅也 | 申请(专利权)人: | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号: | C23C18/08 | 分类号: | C23C18/08;B05D7/24;B05D1/26 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李帆 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 形成 用涂布液 及其 制造 方法 | ||
1.镍膜形成用涂布液,其特征在于含有甲酸镍和沸点在180℃以上低于300℃的范围的胺系溶剂作为主溶剂。
2.权利要求1所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于前述胺系溶剂是链烷醇胺溶剂和/或乙二醇胺溶剂。
3.权利要求2所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于前述胺系溶剂是3-氨基-1-丙醇(沸点188℃)。
4.权利要求1-3的任何一项所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于还含有粘合剂成分和/或表面活性剂。
5.权利要求4所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于前述粘合剂成分或表面活性剂有氨基(-NH2)或胺基(氨的氢原子的1个、2个或3个分别用1个、2个或3个烷基或芳基[甲基、乙基、苯基等]取代得到的官能团)。
6.权利要求4或5所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于前述表面活性剂是HLB值(亲水性-亲油性平衡)10以上的聚硅氧烷系表面活性剂。
7.权利要求1-6的任何一项所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于还含有胺系溶剂以外的溶剂。
8.权利要求7所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于前述胺系溶剂以外的溶剂含有选自二甲基乙酰胺、乙二醇、二亚烷基二醇单烷基醚(亚烷基:亚乙基、亚丙基,烷基:甲基、乙基、丙基)、水的1种以上作为主要成分。
9.权利要求7所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于前述胺系溶剂以外的溶剂含有乙二醇和二亚烷基二醇单烷基醚(亚烷基:亚乙基、亚丙基,烷基:甲基、乙基、丙基)作为主要成分。
10.权利要求1-9的任何一项所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于还含有加热分解促进剂。
11.权利要求10所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于前述加热分解促进剂是钯化合物。
12.权利要求1-11所述的镍膜形成用涂布液,其特征在于室温下的粘度设定在5-30mPa·s的范围内。
13.镍膜的制造方法,其特征在于把权利要求1-12的任何一项所述的镍膜形成用涂布液涂布在基板上、干燥后,在惰性环境气氛或还原性环境气氛下在200℃以上的温度进行烧成。
14.权利要求13所述的镍膜的制造方法,其特征在于在150℃以上的温度进行前述干燥。
15.权利要求13或14所述的镍膜的制造方法,其特征在于采用喷墨印刷进行前述涂布。
16.镍膜,其特征在于采用权利要求13-15的任何一项所述的镍膜的制造方法得到。
17.权利要求16所述的镍膜,其特征在于膜的比电阻值是10mΩ·cm以下。
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C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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