[发明专利]流量控制设备的绝对流量检测系统

权利要求书

1.一种流量控制设备的绝对流量检测系统，检测出流量控制单元中的流量控制设备的绝对流量，所述流量控制设备具有在连通流量控制设备的出口和处理室的入口的气体流路上设置的第1截止阀及第2截止阀，该系统的特征在于，

具有：排气流路，将所述第1截止阀和所述第2截止阀之间的所述气体流路与真空泵的入口连通；

第3及第4截止阀，设置在所述排气流路上；

压力传感器和温度传感器，设置在所述第3截止阀和所述第4截止阀之间的所述排气流路上；和

检测用控制装置，连接所述压力传感器和所述温度传感器，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由所述流量控制设备的出口、所述第2截止阀和所述第4截止阀形成的预定空间的容积值，

从所述检测用控制装置的所述压缩因数数据读出与第1测量时由所述压力传感器测定的第1压力值及由所述温度传感器测定的第1温度值对应的第1压缩因数值，根据所述第1压力值、所述第1温度值、所述容积值及所述第1压缩因数值求得第1质量，

从所述检测用控制装置的所述压缩因数数据读出与第2测量时由所述压力传感器测定的第2压力值及由所述温度传感器测定的第2温度值所对应的第2压缩因数值，根据所述第2压力值、所述第2温度值、所述容积值及所述第2压缩因数值求得第2质量，

根据所述第1质量与所述第2质量的差检测出所述流量控制设备的绝对流量。

2.根据权利要求1所述的流量控制设备绝对流量检测系统，其特征在于，

所述流量控制设备使预先设定的一定流量流过，

在测量时，根据通过所述流量控制设备的流体的所述一定流量切换以下方式：

第1方式，以经过时间为基准决定所述第1测量时间和所述第2测量时间；和

第2方式，以预定压力为基准决定所述第1测量时间和所述第2测量时间。

3.一种流量控制设备的绝对流量检测系统，检测出流量控制单元中的流量控制设备的绝对流量，所述流量控制设备具有在连通流量控制设备的出口和处理室的入口的气体流路上设置的第1截止阀及第2截止阀，该系统的特征在于，

具有：排气流路，将所述第1截止阀和所述第2截止阀之间的所述气体流路与真空泵的入口连通；

第3及第4截止阀，设置在所述排气流路上；

压力传感器和温度传感器，设置在所述第3截止阀和所述第4截止阀之间的所述排气流路上；和

检测用控制装置，连接所述压力传感器和所述温度传感器，

存在如下的密封空间：第1密封空间，通过关闭所述第1截止阀、所述第2截止阀及所述第3截止阀而形成；以及第2密封空间，通过关闭所述第3截止阀及所述第4截止阀而形成，由所述第3截止阀与所述第1密封空间隔开，且容积V₂为已知，

使气体充满所述第1密封空间及所述第2密封空间，测量压力P₁、温度T₁，

对所述第1密封空间或所述第2密封空间进行真空抽吸，测量真空抽吸后的压力P₂、温度T₂，

打开所述第3截止阀，连通所述第1密封空间和所述第2密封空间，一定时间后测量压力P₃、温度T₃，

根据所述压力P₁、所述温度T₁、所述压力P₂、所述温度T₂、所述压力P₃、所述温度T₃及所述容积V₂，求出所述第1密封空间的容积V₁。