[发明专利]绘图设备和方法无效
| 申请号: | 200680019401.5 | 申请日: | 2006-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN101189555A | 公开(公告)日: | 2008-05-28 |
| 发明(设计)人: | 角克人 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 宋焰琴 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 绘图 设备 方法 | ||
1.一种绘图设备,用于通过执行N元绘图在绘图面上形成图像数据所表示的二维图案,其中N是大于等于1的自然数,所述设备包括:
至少一个绘图头,每一绘图头包括像素阵列;
移动装置,用于相对于绘图面,沿扫描方向相对移动所述至少一个绘图头中的每一个;以及
待使用像素设置装置,用于针对所述至少一个绘图头中的每一个,基于像素阵列中像素列相对于扫描方向的倾角变化,设置待使用像素,其中,
所述至少一个绘图头中的每一个相对于绘图面安装,使得所述至少一个绘图头中的每一个的可用像素的像素列方向与相对扫描方向形成预定的设置倾角,以及
像素阵列包括多个二维排列的可用像素,并基于图像数据产生形成二维图案的绘图点组,以及
待使用像素设置装置设置待使用像素,使得所述多个可用像素中在N元绘图中所使用的待使用像素进行操作。
2.如权利要求1所述的绘图设备,其中,待使用像素设置装置基于绘图点组所表示的绘图面上实际像素列方向与扫描方向形成的实际倾角,设置待使用像素。
3.如权利要求1所述的绘图设备,其中,待使用像素设置装置包括:待使用像素指定装置,用于指定待使用像素;以及设置改变装置,用于改变设置,使得仅有待使用像素进行操作。
4.如权利要求1至3中任一项所述的绘图设备,其中,设置倾角θ满足如下算术表达式:
s·p·sinθ≥Nδ,
其中,s是构成可用像素中每个像素列的像素数目,p是可用像素沿像素列方向的像素间距,以及δ是可用像素沿与扫描方向垂直的方向的像素列间距。
5.如权利要求3或4所述的绘图设备,其中,待使用像素指定装置针对每个绘图点列,指定绘图点组所表示的绘图面上每个绘图点列的实际方向与扫描方向形成的实际倾角,并且针对每个绘图点列,指定待使用像素以吸收实际倾角和设置倾角之间的误差。
6.如权利要求3或4所述的绘图设备,其中,待使用像素指定装置确定绘图面上与从可用像素的像素列中选择的多个像素列中每一个相对应的绘图点列作为代表绘图点列,并针对每个代表绘图点列,指定代表绘图点列的方向与扫描方向形成的实际倾角,并且指定待使用像素,使得吸收相关实际倾角和设置倾角之间的每个误差。
7.如权利要求6所述的绘图设备,其中,每个代表绘图点列的实际倾角是代表绘图点列的实际倾角及其附近的绘图点列的实际倾角的平均值、中间值、最大值和最小值之一。
8.如权利要求1至7中任一项所述的绘图设备,其中,所述至少一个绘图头中的每一个的像素阵列产生光点组,作为绘图点组。
9.如权利要求3或4所述的绘图设备,其中,所述至少一个绘图头中的每一个的像素阵列产生光点组,作为绘图点组,以及
待使用像素指定装置包括:
位置检测装置,用于针对所述至少一个绘图头中的每一个,检测绘图面上构成光点组的光点的位置;以及
选择装置,
其中,选择装置针对所述至少一个绘图头中的每一个,基于位置检测装置的检测结果,选择多个代表区域,每个代表区域包括至少一个由绘图面上的待使用像素的像素列之间的连接部分形成的绘图部分;指定可用像素中的未使用像素,使得在每个代表区域中执行理想N元绘图;并选择未使用像素之外的其他像素作为待使用像素。
10.如权利要求9所述的绘图设备,其中,
位置检测装置检测多个像素列中每一个中至少两个光点的位置,以及
选择装置基于检测结果,指定由扫描方向与光点所表示、且已经投影到绘图面上的每个像素列的实际方向形成的实际倾角,并基于实际倾角指定未使用像素。
11.如权利要求10所述的绘图设备,其中,选择装置利用绘图面上与像素阵列中可用像素的多个像素列中每一个相对应的光点列作为代表光点列,并基于位置检测装置对构成代表光点列及其附近的光点列的光点中至少两个光点的位置检测结果,指定所述多个代表光点列中每一个的实际倾角。
12.如权利要求11所述的绘图设备,其中,选择装置利用绘图面上与可用像素的多个像素列相对应的多个光点列作为代表光点列,指定由扫描方向与每个代表光点列及其附近的光点列的方向形成的个体实际倾角,并将个体实际倾角的代表值视为每个代表光点列的实际倾角。
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