[发明专利]静电保持装置以及使用其的静电钳

权利要求书

1.一种静电保持装置，包括具有电极的保持部和对该电极施加电压的直流高压电源，并通过所述保持部的静电力而将保持对象物保持，该静电保持装置包括：

电极电位下降缓和装置，其缓和施加于所述电极的电位的下降。

2.静电保持装置，其中，所述电极包括第一电极元件组和第二电极元件组。

3.如权利要求1所述的静电保持装置，其中，所述电极电位下降缓和装置包括根据需要使第一电极元件组与第二电极元件组的电路短路的电路，

该短路电路在解除操作对象物的静电保持时被短路。

4.如权利要求1至3中任一项所述的静电保持装置，其中，在以所述保持部的保持面为表面的情况下，通过将所述电极电位下降缓和装置平面地配置在所述保持部的背面，使配置有该电极电位下降缓和装置的部位作为所述保持部的增强材料而发挥作用。

5.如权利要求1所述的静电保持装置，其中，所述电极电位下降缓和装置包括电容器，

当判断所述电容器中蓄存电荷的电位下降至低于规定值时，使所述直流高压电源运转并对该电容器充电；

当判断该电容器中蓄存电荷的电位达到规定值时，使所述直流高压电源停止。

6.如权利要求1所述的静电保持装置，其中，所述电极电位下降缓和装置包括电容器；

所述直流高压电源内置于静电保持装置中；

当判断所述电容器中蓄存电荷的电位下降至低于规定值时，使所述直流高压电源运转并对该电容器充电；

当判断所述电容器中蓄存电荷的电位达到规定值时，使所述直流高压电源停止，同时电切断该直流高压电源与电容器。

7.如权利要求1所述的静电保持装置，其中，所述电极是相互施加有相反极性电压的第一电极元件组以及第二电极元件组，所述电极电位下降缓和装置包括一对电容器，所述一对电容器被与所述直流高压电源并联而排列在所述电极组之间；

该一对电容器与所述直流高压电源构成为可分别电切断及连接。

8.一种静电钳，使用权利要求1至7中任一项所述的静电保持装置，将所述保持部作为钳吸引部。