[发明专利]描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对基板移动的同时，对应于该移动来依次形成描绘点、描绘图像的描绘方法及装置和用于该描绘方法及装置的取得描绘点数据的描绘点数据取得方法及装置。

背景技术

以往，作为在印刷布线板或平板显示器的基板上记录规定图案的装置，提出了各种利用光刻法技术的曝光装置。

作为上述的曝光装置，例如提出了通过使光束在涂抹了光致抗蚀剂的基板上沿主扫描方向及副扫描方向扫描，并且，根据表示布线图案的图像数据调制该光束，从而形成布线图案的曝光装置。

作为上述的曝光装置，例如提议了各种利用数字微反射镜装置(下面称为DMD)等空间光调制元件，对应于图像数据，并利用空间光调制元件调制光束来进行曝光的曝光装置。

而且，作为上述使用了DMD的曝光装置，例如提出了如下的曝光装置：在使DMD相对曝光面沿规定的扫描方向移动的同时，对应于沿该扫描方向的移动，将由对应于多个微反射镜的多个描绘点数据构成的帧数据输入到DMD的存储单元，按时间序列依次形成与DMD的微反射镜对应的描绘点群，从而在曝光面上形成期望的图像(例如参照特开2004-233718号公报)。

这里，利用上述的曝光装置形成的印刷布线板的布线图案等具有日益高精细化的倾向，例如在形成多层印刷布线板的情况下，需要使各层布线图案高精度地对位。

为了进行上述的对位，各层的布线图案在相对基板预先设定的位置被曝光，但在形成多层印刷布线板时，由于存在着在粘接各层的冲压(press)工序中对基板加热，使得基板会因该热度而变形的情况，所以如上所述担心因在预先设定的位置曝光各层的布线图案，使得各层的布线图案产生记录位置偏移，导致各层的布线图案难以高精度地对位。

并且，在平板显示器中也担心当曝光滤色器图案时，由于对基板施加加热处理，所以基板基于该热度而伸缩，产生R、G、B各色的记录位置偏移。

另外，例如在通过使基板沿着规定的扫描方向移动、由光束在基板上扫描时，存在着对应于使基板移动的移动机构的控制精度，在基板的移动方向产生偏移的情况，因而担心一旦产生这种偏移，则难以使布线图案等高精度地对位。

发明内容

本发明鉴于上述问题而提出，其目的在于，提供一种在上述曝光装置的描绘方法及装置中，不受基板变形或基板的移动方向偏移等影响，可在基板上的期望位置描绘所期望图像的描绘方法及装置、和用于该描绘方法及装置的取得描绘点数据的方法及装置。

本发明的第一描绘点数据取得方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据，在该描绘点数据取得方法中，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。

本发明的第二描绘点数据取得方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据，在该描绘点数据取得方法中，取得在描绘图像时描绘对象上的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。

本发明的第三描绘点数据取得方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据，在该描绘点数据取得方法中，取得在描绘对象上的图像空间中的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。

而且，在上述本发明的第二及第三描绘点数据取得方法中，可检测在描绘对象上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，并根据该取得的检测位置信息，取得描绘轨迹信息。

并且，可取得图像描绘时描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息，根据该取得的偏移信息，取得描绘轨迹信息。