[发明专利]气体燃烧设备

权利要求书

1.一种燃烧氨的方法，该方法包括如下步骤：将包含变化的量的至少氨和氢的废气从室输送到连接到燃烧室的燃烧喷嘴，向室供给燃气以在室内形成燃烧火焰，和取决于从室排放的氨和氢的相对量选择地向废气添加氢，使得当废气包含氨时，被火焰燃烧的气体包含至少预先确定的量的氢。

2.根据权利要求1所述的方法，其中将氢输送到喷嘴以添加到废气。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中氢从绕燃烧喷嘴延伸的多个缝隙喷射到燃烧室内。

4.根据权利要求1所述的方法，其中氢在燃烧室上游添加到废气。

5.根据任何前述权利要求所述的方法，其中添加到废气的氢量响应于代表了来自室的废气的化学组成的变化的数据的接收调整。

6.根据权利要求5所述的方法，其中废气从处理工具的室排放，数据代表了由处理工具供给的废气的化学组成的变化。

7.根据任何前述权利要求所述的方法，其中将氢添加到废气，使得被火焰燃烧的氢与氨的体积比为至少1∶1。

8.根据任何前述权利要求所述的方法，其中燃气包括燃料和氧化剂的混合物。

9.根据权利要求8所述的方法，其中燃料包括碳氢化合物，优选地为甲烷。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其中氧化剂包括空气。

11.根据权利要求8至10的任何项所述的方法，其中燃气内燃料和氧化剂的体积比在1∶8至1∶12之间。

12.根据任何前述权利要求所述的方法，其中燃气大体上与废气同轴线地供给到室。

13.根据任何前述权利要求所述的方法，其中废气包括氨、氢和氮的至少一个。

14.一种用于燃烧废气的设备，该设备包括：燃烧室，用于向室提供燃气以在室内形成燃烧火焰的装置，连接到燃烧室的燃烧喷嘴，用于将包含变化的量的至少氨和氢的废气从室输送到喷嘴的装置，和用于取决于从室排放的氨和氢的相对量选择地向废气添加氢的装置。

15.根据权利要求14所述的设备，其中氢添加装置构造为将附加的氢输送到燃烧喷嘴以添加到废气。

16.根据权利要求15所述的设备，其中氢添加装置包括绕喷嘴延伸的套筒以接收附加的氢且将附加的氢输送到燃烧室。

17.根据权利要求14至16的任何项所述的设备，其中氢添加装置包括绕燃烧喷嘴延伸的多个缝隙，附加的氢从该缝隙喷射到燃烧室内。

18.根据权利要求14所述的设备，其中氢添加装置构造为在燃烧室上游将氢添加到废气。

19.根据权利要求14至18的任何项所述的设备，其中氢添加装置包括用于接收代表了来自室的废气的化学组成的变化的数据和用于响应于该数据调整添加到废气的氢量的装置。

20.根据权利要求19所述的设备，其中废气从处理工具的室排放，由处理工具供给代表了废气的化学组成的变化的数据。

21.根据权利要求14至20的任何项所述的设备，其中氢添加装置构造为将氢添加到废气，使得由火焰燃烧的氢与氨的体积比至少为1∶1。

22.根据权利要求14至21的任何项所述的设备，其中燃气包括燃料和氧化剂的混合物。

23.根据权利要求22所述的设备，其中燃料包括碳氢化合物，优选地为甲烷。

24.根据权利要求22或23所述的设备，其中氧化剂包括空气。

25.根据权利要求22至24的任何项所述的设备，其中燃气内燃料和氧化剂的体积比在1∶8至1∶12之间。

26.根据权利要求14至25的任何项所述的设备，其中燃气供给装置构造为将燃气大体上与废气同轴线地供给到室。