[发明专利]平版印刷设备中的光学系统无效

专利信息
申请号: 200680014811.0 申请日: 2006-05-02
公开(公告)号: CN101171546A 公开(公告)日: 2008-04-30
发明(设计)人: 让-佛朗索瓦·塔内;让-吕克·米什兰;罗兰·盖尔 申请(专利权)人: 萨热姆防务安全公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G02B17/08
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 代理人: 余朦;方挺
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要:
搜索关键词: 平版印刷 设备 中的 光学系统
【权利要求书】:

1.单一放大率的光学系统,在像空间和物空间是远心的,用于中等清晰度的平版印刷,包括:

-“Dyson Winne”型的结构,其具有凹球面镜,用于物体和像穿过凹球面镜的曲率中心,光学模块配置在凹球面镜的曲率中心附近,

其特征在于,所述结构包括所述凹球面镜和光学模块,

-至少由两个透镜组成的组,其位于所述光学模块的附近并具有区域校正功能,以及可以将光速约束在减小的体积中,

-至少由另外两个透镜组成的组,其位于凹球面镜的正向附近,并具有对孔径的色象差和色象进行校正的主要功能。

2.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,整个像区域大于凹球面镜直径的65%。

3.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光学系统,其特征在于,凹球面镜、光学模块和不同透镜都配置在差不多呈圆柱的封罩中。

4.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光学系统,其特征在于,用于平版印刷的掩模和板沿平行面移动,其特征还在于,光学模块相对于凹球面镜的轴线呈45°延伸,以便合拢来自掩模的光线,并向板发射像光束。

5.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光学系统,其特征在于,至少一个透镜是非球形的。

6.根据前述权利要求中任一权利要求所述的光学系统,其中,镜子(10)是Mangin型的镜子,其由对透镜背面进行反射处理而形成。

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