[发明专利]用于等离子体反应器的具有智能升降销机构的静电卡盘

权利要求书

1.一种升降销组件，用在处理工件用的反应器中，所述升降销组件包括：

多个升降销，其大致平行于升降方向延伸，所述多个升降销每个具有用于支撑工件的顶端和底端；

升降台，其面向所述销的所述底端，并可在大致平行于所述升降方向的方向上平移；

小力检测器，用于感测由所述升降销施加的力，所述力大到足以夹持所述晶片，并且小到足以避免晶片解除夹持；以及

大力检测器，用于感测在足以使所述晶片解除夹持的范围中由所述升降销施加的力。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述小力检测器包括：

多个弹性板，其连接到所述升降台，并用于配合所述销的所述底端的相应底端，每个所述弹性板具有在所述升降方向上相对于所述升降台可运动的挠曲区域；以及

靠近检测器，用于感测所述弹性板中至少一个的所述挠曲区域的位置。

3.根据权利要求1所述的设备，还包括用于沿着所述升降方向升高和降低所述升降台的升降电动机。

4.根据权利要求1所述的设备，还包括数据处理器，所述数据处理器用于将所述靠近检测器和所述力检测器的输出分别转换成位置值和力值。

5.根据权利要求4所述的设备，还包括处理控制器，所述处理控制器耦合成接收由所述数据处理器输出的所述位置值和所述力值，并用于控制所述升降电动机。

6.根据权利要求2所述的设备，其中，每个所述弹性板包括具有第一端和第二端的弹性件，所述第一端紧固到所述升降台，所述第二端沿着所述升降方向相对于所述升降台在所述弹性板的弹性变形作用下自由运动，所述挠曲区域靠近所述第二端。

7.根据权利要求1所述的设备，包括用于每个所述升降销的大力和小力检测器。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述大力检测器和所述小力检测器一起构成单个检测器。

9.一种等离子体反应器中的工件支撑件，包括：

绝缘或者半绝缘层，其具有限定晶片支撑平面的晶片支撑表面；

晶片夹持电极，其在所述绝缘或者半绝缘层内；

多个升降销孔，其在与所述晶片支撑平面垂直的升降方向上延伸通过所述绝缘或者半绝缘层；

多个升降销，其延伸通过所述多个升降销孔，所述多个升降销的每个具有相对的顶端和底端，并可沿着所述升降方向平移，所述顶端用于将工件支撑在所述晶片支撑平面上方；

升降台，其朝向所述销的所述底端，并可在与所述升降方向大致平行的方向上平移；

小力检测器，其用于感测由所述升降销施加的力，所述力大到足以夹持晶片，并且小到足以避免晶片解除夹持；以及

大力检测器，用于感测在足以使所述晶片解除夹持的范围中由所述升降销施加的力。

10.根据权利要求9所述的设备，其中，所述小力检测器包括：

多个弹性板，其连接到所述升降台，并用于配合所述销的所述底端的相应底端，每个所述弹性板具有在所述升降方向上相对于所述升降台可运动的挠曲区域；以及

靠近检测器，用于感测所述弹性板中至少一个的所述挠曲区域的位置。

11.根据权利要求9所述的设备，还包括耦合到所述夹持电极的D.C.夹持电压源。

12.根据权利要求9所述的设备，还包括用于沿着所述升降方向升高和降低所述升降台的升降电动机。

13.根据权利要求9所述的设备，还包括数据处理器，所述数据处理器用于将所述小力检测器和所述大力检测器的输出分别转换成相应力值。

14.根据权利要求13所述的设备，还包括处理控制器，所述处理控制器耦合成接收由所述数据处理器输出的所述位置值和所述力值，并用于控制所述升降电动机。

15.根据权利要求10所述的设备，其中，每个所述弹性板包括具有第一端和第二端的弹性材料体，所述第一端紧固到所述升降台，所述第二端沿着所述升降方向相对于所述升降台在所述弹性板的弹性变形作用下自由运动，所述挠曲区域靠近所述第二端。

16.根据权利要求9所述的设备，包括用于每个所述升降销的大力检测器和小力检测器。