[发明专利]带隔离系统的光罩盒

权利要求书

1.一种用于支撑衬底以提供震动及振动隔离的装置，所述装置的特征是包含：

主盒，其包含配置有下凹内表面的封盖以及基座，所述封盖适于可移开地啮合所述基座，以于所述下凹表面与所述基座之间界定第一密封壳体，所述基座具有其中容纳有闩锁机构的内部；

辅助盒，其包含下部及上部，所述上部适于啮合所述下部，以界定用于容纳所述衬底的第二外壳，所述下部包含支撑结构以在上面固持衬底，且所述上部包含固定结构以用于在所述上部与所述下部啮合时固定所述衬底；

至少一个弹性耦合件，其在所述主盒与所述辅助盒之间延伸并提供所述辅助盒相对于所述主盒的主位置，所述辅助盒可因震动或振动而可返回地移离所述主位置，所述弹性耦合件为所述辅助盒提供相对于所述主盒的多个运动自由度；

通过所述至少一个弹性耦合件的第二端而允许阻尼，所述辅助盒在所述主盒中的多个位移自由度。

2.如权利要求1所述的装置，其特征是在所述辅助盒移离其主位置时，所述弹性耦合件提供六个运动自由度。

3.如权利要求1所述的装置，其特征是进一步包含在所述主盒与所述辅助盒之间延伸的多个弹性耦合件。

4.如权利要求3所述的装置，其特征是所述辅助盒具有四个角，且所述多个弹性耦合件在所述四个角的每一个处垂直延伸于所述辅助盒与所述主盒之间。

5.如权利要求4所述的装置，其特征是每一所述弹性耦合件均具有第一端及第二端，并在每一所述端处具有开口，且其中每一个所述弹性耦合件均通过从所述主盒及辅助盒延伸出的多个突起而连接至所述主盒与辅助盒二者，所述突起容纳于所述端处的所述开口中。

6.如权利要求1所述的装置，其特征是所述辅助盒的所述下部具有有四个角的实质正方形的轮廓，并具有在所述角之间延伸的四个边，每一边均具有弓形形状，从而当将所述光罩支撑于所述下部中时对所述光罩呈现凹部。

7.如权利要求1所述的装置，其特征是所述辅助盒的所述下部具有顶侧及底侧，所述下部具有有四个角的实质正方形的轮廓，其中每一所述角均具有形成于所述底侧上的朝对角向内延伸的联结板。

8.如权利要求6所述的装置，其特征是所述辅助盒的所述下部具有顶侧及底侧，所述下部具有有四个角的实质正方形的轮廓，其中每一所述角均具有形成于所述底侧上的朝对角向内延伸的联结板。

9.如权利要求7所述的装置，其特征是所述辅助盒的所述上部具有顶侧及底侧，所述上部具有有四个角的实质正方形的轮廓，其中每一所述角均在所述上部的所述顶侧上具有沿径向延伸的联结板。

10.如权利要求9所述的装置，其特征是所述上部的每一联结板具有凸起的中央部，所述凸起的中央部具有一对从所述凸起部向下延伸的侧壁，且所述下部的每一联结板具有有一对侧壁的向下延伸的下沉部。

11.如权利要求1所述的装置，其特征是所述主盒的所述基座具有有外边缘的朝上表面，所述朝上表面中具有沿所述边缘部延伸的凹槽，所述装置进一步包含弹性密封件，所述弹性密封件构造成位于所述凹槽中的环，且其中所述封盖具有用于与所述弹性密封件啮合的啮合突起，其中所述密封件与所述啮合凸起提供连续啮合以在所述封盖与基座之间提供密封啮合。

12.如权利要求11所述的装置，其特征是所述密封件压缩于所述封盖与所述基座之间，且其中所述封盖闩锁至所述基座上，所述封盖可在所述基座上垂直移动至少0.10英寸的距离。

13.如权利要求11所述的装置，其特征是所述密封件具有顶面，所述顶面具有两个悬臂部及中间部，且其中所述顶盖具有外周缘，所述外周缘具有围绕所述外周缘延伸的三个啮合肋，且其中所述三个啮合肋啮合所述两个悬臂部及所述中间部。

14.如权利要求1所述的装置，其特征是所述基座部包含四个角导向件。