[发明专利]用于移动以矩形结构排列的电子元件的方法和设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种在扁平搬运器上放置以矩阵结构排列的电子元件的方法，包括将大量的以矩阵结构排列的电子元件拾起以及将元件放置在扁平搬运器的步骤。

本发明还涉及一种将以矩阵结构排列的电子元件放置在扁平搬运器的设备，其中该设备包括传送台，安置机构和至少一个输送件，在该传送台放置以矩阵结构排列的元件，该安置机构用于安置上面放置有产品的扁平搬运器，该输送件用于从传送台上拾取以矩阵结构排列的大量的元件并且将元件放置。

背景技术

该方法通常但不唯一应用在半导体的制造中。在它们的制造中，半导体需要接受在不同的处理站进行的不同的处理。半导体必须在这些处理站之间传输。标准化的扁平搬运器在制造位置常常用于这个目的。然而，处理站通常需要传送以矩形结构的批量的电子元件，它们具有正确的间距或者正确的方向，但是数量不准确。

电子元件放置的扁平搬运器通常是由扁平板形成，其中，这些板然后可以滑进可移动的盒子内。

然而，扁平搬运器也可以由传送带形成，该传送带从一个处理站向下一个处理站输送电子元件。传动带在输送过程中实现运载的功能。该种传送带在放置电子元件的过程中一般处于静止，因此采用“搬运器”这个术语认为是合理的。因而，该种传送带被认为落在术语“扁平搬运器”的范围内。

发明内容

本发明的目的是提供一种设备，利用该设备，电子元件组(特别是不唯一是半导体产品)的数量、间距或方向可以被改变。

该目的是通过这个方法实现，首先在元件拾取后将元件放置在安置台上，随后在将元件放置在扁平搬运器之前，将放置在安置台上的元件重新拾取。

类似地，该目的是通过一种设备来实现，该设备包括安置台，并且至少一个输送件适于从传送台向安置台传输元件，并且适于从安置台向放置在安置机构上的扁平搬运器传输元件。

电子元件组分两个步骤进行移动，形成了改变不同特性的可能性，例如改变元件的数量，它们的间距或方向。

根据第一实施例，在元件停留在安置台期间，可以视觉检测到至少一种品质的元件。为了这个目的，设置视觉检测装置检测出现在安置台上的元件。该实施例提供了用于确定可能有差异的不同元件组，例如在组内有缺的少元件，或者不符合视觉检测质量标准的元件。可能确定的差异然后在第二个传输操作中被纠正。

这个视觉检测装置，优选地包括放置在安置台的上面的摄像头，其中安置台被打孔，且照明装置设置在安置台的下侧。这很简单但是可以有效地检测电子元件组的质量。

由于一般需要改变元件组的多个特性，有利的是将这些改变分在两个传送步骤中完成。第一选择提供的方法是，在元件的至少一个传输操作期间，改变至少它们的相对位置。

一个可能改变的特性是改变元件之间的间距。产生的结果是在第一传输操作期间，在第一方向上元件之间的相互距离被改变，以及在第一方向上，至少一个输送件用于改变元件间的相互距离。

为了改变在它们方向上的间距，在第二个传输过程内，元件之间的相互距离在第二方向被改变。为了这个目的，至少一个输送件适于在垂直于第一方向延伸的第二方向改变元件之间的相互距离。

为了正确放置在搬运器上，元件组优选在至少一个传输操作期间被旋转。输送件优选设置有接合件，用于这个目的，该接合件被设置在相互平行延伸的支撑座上，并且该支撑座在要改变的元件之间距离的方向上是可移动的。

除了元件组的间距和方向之外，每组或每批元件的数量可与需要在搬运器上传输的元件数量不同。为了这个目的，本发明提供的方法，使在第一传输操作中传输的元件数量与在第二传输操作中传输的元件数量不同。这里安置台起到缓冲器的作用；在第一和第二传输操作中传输的元件数量之间的差量留在安置台上的后面，并且这些留下的元件在随后的第二传输操作内被传输。

当在第二传输操作内从安置台上除去的元件数量小于在第一传输操作中放置在安置台的元件的数量时，差值留在安置台的后面。至少一些留下的元件在随后的第二传输操作过程中连同插入在第一传输操作期间设置的一些元件一起被去除。重复这个过程，直到足够的元件收集在安置台上，以实现两个连续的第二传输操作，而不用插入第一传输操作。然而，也可能，在第二传输操作过程除去的元件数量比在第一传输操作过程能够传送的元件数量大。然后，在第二传输操作可以被执行之前，必须首先执行两个第一传输操作。