[发明专利]半导体器件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200680010996.8 申请日: 2006-01-26
公开(公告)号: CN101180641A 公开(公告)日: 2008-05-14
发明(设计)人: 野田由美子;荒井康行;渡边康子;守屋芳隆;山崎舜平 申请(专利权)人: 株式会社半导体能源研究所
主分类号: G06K19/077 分类号: G06K19/077;G06K19/07;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/146
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 吴娟;韦欣华
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 半导体器件 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,包括:

至少具有第一晶体管、第二晶体管和第三晶体管的元件,各晶体管在衬底之上提供;

在所述元件之上提供的检测元件,与第一晶体管电连接;

在所述元件之上提供的存储元件,与第二晶体管电连接;以及

在所述元件之上提供的第一导电层,与第三晶体管电连接,

其中,所述衬底、所述元件、所述检测元件、所述存储元件以及所述第一导电层被保护层覆盖。

2.一种半导体器件,包括:

至少具有第一晶体管、第二晶体管和第三晶体管的元件,各晶体管在衬底之上提供;

在所述元件之上提供的检测元件,与第一晶体管电连接;

在所述元件之上提供的存储元件,与第二晶体管电连接;以及

在所述元件之上提供的第一导电层,与第三晶体管电连接,

其中,所述存储元件包括:

在所述元件上提供的第二导电层;

邻近所述第二导电层提供的第三导电层;以及

在所述第二导电层与所述第三导电层之间提供的有机化合物层,以及

其中,所述衬底、所述元件、所述检测元件、所述存储元件以及所述第一导电层被保护层覆盖。

3.如权利要求2所述的半导体器件,其中所述第一导电层和所述第二导电层在同一层中提供。

4.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中所述检测元件包括:

在所述元件上提供的第一层;

邻近所述第一层提供的第二层;以及

在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,

其中,所述第一层是P型半导体层,

所述第二层是N型半导体层,以及

所述第三层是I型半导体层。

5.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中所述检测元件包括:

在所述元件上提供的第一层;

邻近所述第一层提供的第二层;以及

在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,

其中,所述第一层是第四导电层,

所述第二层是半导体层,以及

所述第三层是化合物半导体层。

6.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中,所述检测元件包括:

在所述元件上提供的第一层;

邻近所述第一层提供的第二层;以及

在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,

其中,所述第一层是第四导电层,

所述第二层是第五导电层,以及

所述第三层是压电层。

7.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中,所述检测元件包括:

在所述元件上提供的第一层;

邻近所述第一层提供的第二层;以及

在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,

其中,所述第一层是第四导电层,

所述第二层是第五导电层,以及

所述第三层是吸湿层。

8.如权利要求7所述的半导体器件,其中,所述第四导电层和所述第五导电层在同一层中提供。

9.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中,所述检测元件包括:

在所述元件上提供的第一层;

邻近所述第一层提供的第二层;以及

在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,

其中,所述第一层是第四导电层,

所述第二层是第五导电层,以及

所述第三层是有机化合物层。

10.如权利要求9所述的半导体器件,其中,所述第四导电层和所述第五导电层在同一层中提供。

11.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中,所述检测元件包括:

在所述元件上提供的第一层;

邻近所述第一层提供的第二层;以及

其中,所述第一层是第四导电层,

所述第二层是响应层。

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