[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
| 申请号: | 200680010996.8 | 申请日: | 2006-01-26 |
| 公开(公告)号: | CN101180641A | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
| 发明(设计)人: | 野田由美子;荒井康行;渡边康子;守屋芳隆;山崎舜平 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号: | G06K19/077 | 分类号: | G06K19/077;G06K19/07;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/146 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 吴娟;韦欣华 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体器件,包括:
至少具有第一晶体管、第二晶体管和第三晶体管的元件,各晶体管在衬底之上提供;
在所述元件之上提供的检测元件,与第一晶体管电连接;
在所述元件之上提供的存储元件,与第二晶体管电连接;以及
在所述元件之上提供的第一导电层,与第三晶体管电连接,
其中,所述衬底、所述元件、所述检测元件、所述存储元件以及所述第一导电层被保护层覆盖。
2.一种半导体器件,包括:
至少具有第一晶体管、第二晶体管和第三晶体管的元件,各晶体管在衬底之上提供;
在所述元件之上提供的检测元件,与第一晶体管电连接;
在所述元件之上提供的存储元件,与第二晶体管电连接;以及
在所述元件之上提供的第一导电层,与第三晶体管电连接,
其中,所述存储元件包括:
在所述元件上提供的第二导电层;
邻近所述第二导电层提供的第三导电层;以及
在所述第二导电层与所述第三导电层之间提供的有机化合物层,以及
其中,所述衬底、所述元件、所述检测元件、所述存储元件以及所述第一导电层被保护层覆盖。
3.如权利要求2所述的半导体器件,其中所述第一导电层和所述第二导电层在同一层中提供。
4.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中所述检测元件包括:
在所述元件上提供的第一层;
邻近所述第一层提供的第二层;以及
在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,
其中,所述第一层是P型半导体层,
所述第二层是N型半导体层,以及
所述第三层是I型半导体层。
5.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中所述检测元件包括:
在所述元件上提供的第一层;
邻近所述第一层提供的第二层;以及
在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,
其中,所述第一层是第四导电层,
所述第二层是半导体层,以及
所述第三层是化合物半导体层。
6.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中,所述检测元件包括:
在所述元件上提供的第一层;
邻近所述第一层提供的第二层;以及
在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,
其中,所述第一层是第四导电层,
所述第二层是第五导电层,以及
所述第三层是压电层。
7.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中,所述检测元件包括:
在所述元件上提供的第一层;
邻近所述第一层提供的第二层;以及
在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,
其中,所述第一层是第四导电层,
所述第二层是第五导电层,以及
所述第三层是吸湿层。
8.如权利要求7所述的半导体器件,其中,所述第四导电层和所述第五导电层在同一层中提供。
9.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中,所述检测元件包括:
在所述元件上提供的第一层;
邻近所述第一层提供的第二层;以及
在所述第一层和所述第二层之间提供的第三层,
其中,所述第一层是第四导电层,
所述第二层是第五导电层,以及
所述第三层是有机化合物层。
10.如权利要求9所述的半导体器件,其中,所述第四导电层和所述第五导电层在同一层中提供。
11.如权利要求1或2所述的半导体器件,其中,所述检测元件包括:
在所述元件上提供的第一层;
邻近所述第一层提供的第二层;以及
其中,所述第一层是第四导电层,
所述第二层是响应层。
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