[发明专利]多协议多客户端设备服务器

权利要求书

1.一种多客户端多协议设备服务器，用来与工具通信，包括：

多个主机/客户端接口，所述多个主机/客户端接口中的至少一个用来与制造执行系统通信；

多个工具接口，所述多个工具接口中的至少一个用来与该工具通信；以及

工具的设备对象模型，其中制造执行系统基于所述工具设备对象模型与该工具通信。

2.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述设备对象模型基于SEMI CEM标准。

3.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个主机/客户端接口中的至少一个用来与工具性能应用通信，并且其中工具性能应用基于所述工具的设备对象模型与工具通信。

4.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个主机/客户端接口中的至少一个用来与电子表格应用通信，并且其中电子表格应用基于所述工具的设备对象模型与工具通信。

5.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个主机/客户端接口中的至少一个用来与基于网络浏览器的远程诊断应用通信，并且其中基于网络浏览器的远程诊断应用基于所述工具的设备对象模型与工具通信。

6.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个主机/客户端接口中的第一个用来与制造执行系统通信，其中所述多个主机/客户端接口中的第二个用来与第二客户端通信，并且其中制造执行系统基于所述工具的设备对象模型、与第二客户端与工具通信同时地与工具通信。

7.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个主机/客户端接口中的至少一个用来接收对工具的物理或逻辑构成的查询，并且其中所述工具的设备对象模型用来对该查询做出响应。

8.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个主机/客户端接口中的至少一个用来接收对工具或其组件所处状态的查询，并且其中所述工具的设备对象模型用来对该查询做出响应。

9.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个主机/客户端接口中的至少一个用来传达发生了与工具相关的事件，并且其中在该事件的传达中使用所述设备对象模型。

10.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个主机/客户端接口中的至少一个包括GEM接口，其中制造执行系统通过所述GEM接口通信。

11.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个工具接口中的至少一个包括SECS/GEM接口，其中工具通过所述SECS/GEM接口通信。

12.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个主机/客户端接口中的至少一个包括.NET接口，其中制造执行系统通过所述.NET接口通信。

13.如权利要求1所述的多客户端多协议设备服务器，其中所述多个工具接口中的至少一个包括.NET接口，其中工具通过所述.NET接口通信。

14.一种通过多个协议建立工具与多个客户端之间的通信的方法，包括以下步骤：

配置多个主机/客户端接口中的至少一个与制造执行系统通信；

配置多个工具接口中的至少一个与工具通信；以及

定义工具的设备对象模型，其中制造执行系统基于所述工具的设备对象模型与工具通信。

15.如权利要求14所述的建立通信的方法，其中所述设备对象模型基于SEMI CEM标准。

16.如权利要求14所述的建立通信的方法，还包括以下步骤：

配置所述多个主机/客户端接口中的至少一个与工具性能应用通信，并且其中工具性能应用基于所述工具的设备对象模型与工具通信。

17.如权利要求14所述的建立通信的方法，还包括以下步骤：

配置所述多个主机/客户端接口中的至少一个与电子表格应用通信，并且其中电子表格应用基于所述工具的设备对象模型与工具通信。