[发明专利]自动材料处理系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种自动材料处理系统，用于管理在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令通过多个输送设备输送的被输送物体。

背景技术

在诸如半导体和液晶的制造工厂中使用自动材料处理系统(AMHS)，由于空气中的细小颗粒灰尘等有害地影响产品的质量性能，在制造过程中，物品(例如半导体产品制造设备的情况下、半导体基片和用于液晶显示器的玻璃基片，用于光学掩膜的玻璃基座，以及诸如用于光盘的基片的将要被制造的物品的中间产品)容纳在盒子中，并在制造设备和诸如储料器或简化的缓冲单元的存储单元之间根据制造过程由输送系统输送(参见专利文献1)。应该注意基于在轨道上运行的输送设备的输送系统是输送系统的主流，该输送系统包括用于通过在悬挂在天花板的轨道上运行输送FOUP(晶圆传送盒)的OHT(高架提升输送)系统和OHS(高架往复输送)系统以及利用在地面上自主运行的输送装置的输送系统。

另外，在自动材料处理系统中，作为用于识别载体的识别信息的载体ID(条形码，RFID(射频识别)，红外通讯ID等等)连接到每个载体，该载体是被输送的物体。当载体通过输送设备输送到平行于输送路径安装的诸如储料器、缓冲级、以及简化缓冲单元的制造设备或存储单元时ID读/写单元分别安装在它们的装载端口和卸载端口或两个端口的接口单元部分，并且载体ID的确认和被管理的载体ID的读和写由自动材料处理系统的控制器通过ID读/写单元执行。

例如，专利文献2公开一种技术，在该技术中连接到主机的无线通讯功能安装在制造设备和诸如储料器、缓冲级，以及简化缓冲单元的存储单元的各相应部分，同时具有无线通讯功能并能存储预定信息(识别信息)的电子模块分别安装在盒子上(被输送的物体)，并且预定信息通过无线通讯从电子模块读取或被写入其中从而通过主机管理盒子。

专利文献1         JP-A-2005-1886

专利文献2         JP-A-9-283595

但是，由于ID读/写单元昂贵，在平行安装到输送路径的制造设备和诸如储料器、缓冲级，以及简化的缓冲单元的存储单元的数量很大的情况下，存在成本高的问题。

另外，在通过利用无线通讯技术执行被输送物体上的识别信息的读和写的情况下，由于使用在无线通讯技术中所用天线的方向性，存在很难设定无线通讯功能的安装地址的问题。即，如果被输送的物体进入无线通讯范围内的死区(例如，被输送的物体偏离正确的位置)，无线通讯不能建立，并且因此存在被输送物体和被输送物体上的识别信息不能确认的问题。在这种接合点，为了确认被输送物体和被输送物体上的识别信息，自动材料处理系统必须被停止并且识别信息必须从与所有被输送物体相关的ID读/写单元手动读取。在载体的数量很大的情况下，涉及人工和时间，并且由于生产过程被停止较长时间，工厂的生产率受到不利的影响。

发明内容

根据上述的现有问题，根据本发明提供一种自动材料处理系统，在自动材料处理系统中以低成本、容易并具有高度可靠性地管理被输送的物体，该被输送的物体在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令由多个输送设备输送。

解决问题的手段

根据本发明的自动材料处理系统是用于管理在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令通过多个输送设备输送的被输送物体的自动材料处理系统，其特征在于：被输送的物体具有可读/可写识别信息记录单元，用于记录用来识别将要被处理的物体的识别信息，该信息包含在被输送的物体中；某些输送设备的每一个都具有识别信息读/写单元，用于基于控制器的指令实施与识别信息记录单元相关的识别信息的读和写；以及控制器具有识别信息管理单元，用于存储和管理在识别信息读/写单元中已经被读或写的识别信息，其中根据记录在识别信息记录单元上的识别信息和存储在识别信息管理单元中并通过其管理的识别信息在控制器中执行将要被处理的物体的管理。