[发明专利]制造光敏叠层体的装置和方法

权利要求书

1.一种用于制造光敏叠层体的装置，包括：

用于放出细长的光敏薄片(22)的薄片放出机构(32)，所述光敏薄片包括支撑体(26)、设置在所述支撑体(26)上的光敏材料层(28)和设置在所述光敏材料层(28)上的保护膜(30)，所述保护膜(30)具有剥离部分(30aa)和残留部分(30b)；

用于形成加工区域(34)的加工机构(36)，所述加工区域(34)在已经被所述薄片放出机构(32)放出的所述细长的光敏薄片(22)的所述保护膜(30)中的所述剥离部分(30aa)和所述残留部分(30b)之间的边界位置处可被横向切断；

用于从所述细长的光敏薄片(22)剥离所述剥离部分(30aa)、留下所述残留部分(30b)的剥离机构(44)；

用于将已经被加热至预定温度的衬底(24)进给至叠加位置的衬底进给机构(45)；

叠加机构(46)，用于将所述残留部分(30b)定位在所述衬底(24)之间且在所述叠加位置将所述光敏材料层(28)的已剥离掉剥离部分(30aa)的暴露区域叠加到所述衬底(24)，从而制成叠加衬底(24a)；

位于所述叠加机构(46)下游、用于从所述叠加衬底(24a)剥离所述支撑体(26)的支撑体剥离机构(186)；

位于所述叠加机构(46)与所述支撑体剥离机构(186)之间、用于冷却所述叠加衬底(24a)的冷却机构(122)；以及

用于将层积在所述支撑体(26)上的树脂层(27)加热到预定温度范围内的加热机构(182)，所述预定温度范围为玻璃转化温度或玻璃转化温度以下的温度。

2.根据权利要求1的装置，其中所述支撑体剥离机构(186)包括用于在剥离所述支撑体(26)时沿着对所述衬底(24)的叠加方向施加张力到所述支撑体(26)的张力施加结构(222)。

3.根据权利要求1的装置，其中所述支撑体剥离机构(250)包括用于顺着衬底(24)的外周部分从所述衬底(24)剥离所述支撑体(26)的剥离辊(146)，以及在所述衬底(24)之间运动的同时沿着所述剥离辊(146)的外周引导所述支撑体(26)的剥离引导构件(252)。

4.根据权利要求1的装置，其中所述叠加机构(270)包括：

加热到预定温度的一对橡胶辊(80a，80b)；和

与所述一对橡胶辊(80a，80b)滑动接触的一对支承辊(272a，272b)；

其中，所述橡胶辊中的至少一个(80a)和/或所述支承辊中的至少一个(272a)的外周表面设定为凸鼓形。

5.一种用于制造光敏叠层体的装置，包括：

用于放出细长的光敏薄片(22)的薄片放出机构(32)，所述光敏薄片包括支撑体(26)、设置在所述支撑体(26)上的光敏材料层(28)和设置在所述光敏材料层(28)上的保护膜(30)，所述保护膜(30)具有剥离部分(30aa)和残留部分(30b)；

用于形成部分切割区域(34)的加工机构(290)，所述部分切割区域(34)在已经由所述薄片放出机构(32)放出的所述细长的光敏薄片(22)的所述保护膜(30)中的所述剥离部分(30aa)和所述残留部分(30b)之间的边界位置处可横向切断；

用于从所述细长的光敏薄片(22)剥离所述剥离部分(30aa)、留下所述残留部分(30b)的剥离机构(44)；

用于将已经加热至预定温度的衬底(24)进给至叠加位置的衬底进给机构(45)；

叠加机构(46)，用于将所述残留部分(30b)定位在所述衬底(24)之间且在所述叠加位置将所述光敏材料层(28)的已经剥离掉所述剥离部分(30aa)的暴露区域叠加到所述衬底(24)，从而制成叠加衬底(24a)；以及

位于所述叠加机构(46)下游、用于从所述叠加衬底(24a)剥离所述支撑体(26)的支撑体剥离机构(186)，

其中，所述加工机构(290)包括：

用于在所述细长的光敏薄片(22)中形成所述部分切割区域(34)的切刀(294)；和

用于在进行部分切割时将所述部分切割区域(34)加热至对应于所述切(294)的预定温度的加热器(292)。