[发明专利]氧化锌系化合物半导体发光元件无效
申请号: | 200680009529.3 | 申请日: | 2006-03-23 |
公开(公告)号: | CN101147269A | 公开(公告)日: | 2008-03-19 |
发明(设计)人: | 中原健 | 申请(专利权)人: | 罗姆股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01S5/327 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氧化锌 化合物 半导体 发光 元件 | ||
1.一种氧化锌系化合物半导体发光元件,其为在基板上以形成发出400nm以下波长的光的发光层形成部的方式叠层ZnO系化合物半导体层的氧化锌系化合物半导体发光元件,其特征在于:
使用由MgxZn1-xO(0<x≤0.5)构成的基板作为所述基板。
2.一种氧化锌系化合物半导体元件,其特征在于:
设所述基板的Mg的混晶比率为x,设所述发出的光的波长为λ,以(1240/λ-3.3)/4≤x的方式形成所述基板。
3.根据权利要求1或2所述的氧化锌系化合物半导体发光元件,其特征在于:
所述基板的主面是A面(11-20)或M面(10-10),与该主面平行的面在{11-20}面或{10-10}面上取向、并且与所述主面垂直的面在{0001}面上取向而外延生长所述ZnO系化合物半导体层。
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