[发明专利]介质隔离式绝对压力传感器

权利要求书

1.一种介质隔离式绝对压力传感器装置，包括：

第一压力传感器，可操作用于测量施加至所述第一压力传感器上的第一压力和第二压力之间的第一压力差，所述第一压力传感器通过提供具有关于所述第一压力差的第一斜率响应的第一输出，来响应所述第一压力差；

第二压力传感器，可操作用于测量施加至所述第二压力传感器上的第二压力和基本真空之间的第二压力差，所述第二压力传感器通过提供具有关于所述第二压力差的第二斜率响应的第二输出，来响应所述第二压力差；

至少一个均衡电路，用于调整所述第一和第二传感器中的至少一个的斜率响应，使得所述第一斜率基本与所述第二斜率相同，并用于提供与所述第一和第二传感器对应的至少一个调整后的输出；以及

求和电路，用于将与所述第一和第二传感器关联的所述基本相同的斜率输出相加，使得提供表示所述第一压力的绝对压力测量的输出信号。

2.根据权利要求1所述的装置，进一步包括偏移电路，用于为对应的第一和第二传感器提供第一和第二偏移信号中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的装置，进一步包括耦合到所述第一和第二压力传感器的每一个的偏移-温度和范围-温度补偿电路，用于提供从所述第一和第二压力传感器得到的偏移-范围温度补偿信号。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述均衡器包括两个均衡器，每一个用于所述第一和第二传感器的一个。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一压力传感器是压阻器件。

6.一种介质隔离式绝对压力传感器装置，包括：

第一压力传感器，可操作用于测量隔离介质的第一压力和施加至第一压力传感器上的第二压力之间的第一压力差，所述第一压力传感器通过提供具有关于所述第一压力差的第一斜率响应的第一输出，来响应所述第一压力差；

第二压力传感器，可操作用于测量施加至所述第二压力传感器上的第二压力和基本真空之间的第二压力差，所述第二压力传感器通过提供具有关于所述第二压力差的第二斜率响应的第二输出，来响应所述第二压力差；

第一和第二均衡电路，用于调整相应的所述第一和第二传感器中的斜率响应和偏移，使得所述第一斜率基本与所述第二斜率相同，并用于提供所述相应的调整后的第一和第二输出；以及

求和电路，用于将所述调整后的第一和第二输出相加，从而提供表示所述隔离介质的绝对压力测量的输出信号。

7.根据权利要求6所述的装置，进一步包括耦合到第一和第二压力传感器的每一个的偏移-温度和范围-温度补偿电路，用于提供从所述第一和第二压力传感器得到的偏移-范围温度补偿信号。

8.根据权利要求6所述的装置，其中所述第一和第二压力传感器是压阻器件。

9.一种用于提供隔离介质的绝对压力测量的方法，该方法包括步骤：

提供第一压力传感器，其可操作用于测量施加至第一压力传感器上的第一压力和第二压力之间的压力差，所述第一压力传感器通过提供具有关于所述第一压力差的第一斜率响应的第一输出，来响应所述第一压力差；以及提供第二压力传感器，其可操作用于测量施加至第二压力传感器上的第二压力和基本真空之间的第二压力差，所述第二压力传感器通过提供具有关于所述第二压力差的第二斜率响应的第二输出，来响应所述第二压力差；

调整所述第一和第二传感器中的至少一个的斜率响应，使得所述第一斜率基本与所述第二斜率相同；

提供与所述第一和第二传感器对应的至少一个调整后的输出；以及

对与所述第一和第二传感器关联的所述基本相同的斜率输出求和，从而提供表示所述第一压力的绝对压力测量的输出信号。

10.根据权利要求9所述的方法，进一步包括以下步骤：从所述对应的第一和第二传感器输出减去第一和第二偏移。

11.根据权利要求10所述的方法，进一步包括以下步骤：施加从所述第一和第二压力传感器得到的偏移-温度和范围-温度补偿，以提供所述第一和第二传感器的偏移-范围温度-补偿。

12.根据权利要求9所述的方法，其中所述调整的步骤调整所述第一信号和第二信号的所述斜率响应。

13.根据权利要求9所述的方法，其中所述提供步骤包括提供所述传感器为第一和第二压阻器件。