[发明专利]感光性树脂组合物以及滤色器

说明书

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物以及滤色器。 

本申请要求2005年3月18日在日本申请的特愿2005-078946号的优先权，并将其内容在本申请中引用。 

背景技术

例如，具有液晶显示元件的彩色显示装置中使用的滤色器，通常具有由红(R)、绿(G)和蓝(B)的各种颜色形成的像素(着色层)被通常被称为黑色矩阵的格子状的遮光层围住的结构。 

已知的有使用含有着色剂的感光性树脂组合物，通过光刻法形成该滤色器的着色层和黑色矩阵的方法。 

作为如上所述地通过光刻法制造着色层或黑色矩阵的感光性树脂组合物，被实用化的是具有照射光后固化的性质的所谓的“负型”组合物。就通过光刻法形成滤色器时使用的含着色剂的感光性树脂组合物而言，要求可以以良好的轮廓形状来形成黑色矩阵和着色剂(像素)等微细的图案。因此，希望使用“正型”来代替现有的“负型”，所以开始提出了“正型”的组合物(参照专利文献1)。若要改良所形成的滤色器的发色，由感光性树脂组合物(不含着色剂)形成的图案的透明性需要较高。 

专利文献1：JP2003-270784A 

然而，在使用目前的含有酚醛清漆树脂、丙烯酸树脂、羟基苯乙烯的正型感光性树脂组合物形成滤色器、透镜、层间绝缘膜等时，存在-耐热性不足而且透明性也不足的问题。 

具体而言，如果耐热性不足，则在通常进行的加热工序中，存在形成的图案收缩(也就是膜缩减(Thickness loss))或者形状破裂的问题，无法形成所希望的形状。此外，在加热时，如果树脂成分着色，则存在无法得到所要求的透明性的问题。特别是，滤色器的透明性差时，存在无法  得到R、G、B等规定的发色的缺陷。 

发明内容

本发明是根据上述问题提出的，目的在于提供一种具有良好的耐热性和透明性的正型感光性树脂组合物，以及使用该感光性树脂组合物的滤色器。 

为了实现上述目的，本发明的感光性树脂组合物的特征在于：含有树脂成分(A1)，该树脂成分(A1)具有下述通式(a1)所示的结构单元中的酚性羟基的氢原子的至少一部分被萘醌-1，2-二叠氮基-5-(和/或-4-)磺酰基取代的结构单元(a1’)。 

(上述通式中，R⁰表示氢原子或甲基，R¹表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，R²表示碳原子数为1～5的烷基，a表示1～5的整数，b表示0或14的整数，a+b是5以下。另外，存在2个以上的R²时，这些R²相互之间可以不同，也可以相同)。 

另外，本发明还提供具有使用本发明的感光性树脂组合物形成的图案的滤色器。 

另外，“结构单元”表示构成聚合物的单体单元。 

根据本发明，可以提供具有良好的耐热性和透明性的正型感光性树脂组合物。 

本发明的感光性树脂组合物适合用于形成构成滤色器的图案，可以形成高品质的滤色器。 

具体实施方式

树脂成分(A1) 

本发明的感光性树脂组合物含有树脂成分(A1)，该树脂成分(A1)具有上述通式(a1)所示的结构单元中的酚性羟基的氢原子的至少一部分被萘醌-1，2-二叠氮基-5-(和/或-4-)磺酰基(以下，也称作NQD基)取代的结构单元(a1’)。 

树脂成分(A1)由于NQD基团的抑制溶解作用而对碱显影液显示出不溶性或难溶性。同时，当NQD基因曝光而吸光并和水分反应时，萘醌-1，2-二叠氮基会形成茚羧酸，树脂成分(A1)变成对碱性显影液具有溶解性质。也就是说，曝光部分与未曝光部分相比，碱溶解速度变大。因此，含有该树脂成分(A1)的本发明的感光性树脂组合物可作为正型抗蚀剂使用。另外，在以下的说明中，也将树脂成分(A1)成分称作“(A1)成分”。结构单元(a1’) 

结构单元(a1’)是上述通式(a1)所示的结构单元(a1)和萘醌-1，2-二叠氮基-5-磺酰基卤化物和/或萘醌-1，2-二叠氮基-4-磺酰卤化物的酯化物。 

也就是说，树脂成分(A1)是使至少具有结构单元(a1)的碱可溶性树脂成分与萘醌-1，2-二叠氮基-5-磺酰基卤化物和/或萘醌-1，2-二叠氮基-4-磺酰卤化物进行酯化反应，将结构单元(a1)的酚性羟基的氢原子部分或全部用NQD基取代而得到的。