[发明专利]含镓氧化锌无效
| 申请号： | 200680005442.9 | 申请日： | 2006-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN101124164A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 深谷重一;八田文吾;山本哲也 | 申请（专利权）人： | 积水化学工业株式会社;学校法人高知工科大学 |
| 主分类号： | C01G9/00 | 分类号： | C01G9/00;C23C14/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化锌 | ||
1.一种含镓氧化锌，其具有热射线屏蔽功能，其特征在于，镓含量是0.25～25重量％，载流子电子密度ne是2×1020/cm3以上，进而，以镓的含量以下的含量含有具有与锌原子的共价键半径不同的共价键半径的元素。
2.如权利要求1所述的含镓氧化锌，其特征在于，载流子电子的迁移率μ是0.1～40cm2/Vs。
3.如权利要求1或2所述的含镓氧化锌，其特征在于，载流子电子密度ne和载流子电子的迁移率μ满足μ≤3.75ne×10-20。
4.如权利要求1或2所述的含镓氧化锌，其特征在于，载流子电子密度ne和载流子电子的迁移率μ是0.2≤(ne×10-20/μ)，日光透过率Ts和可见光线透过率Tv是Tv/Ts≥1.0。
5.如权利要求1所述的含镓氧化锌，其特征在于，具有与锌原子的共价键半径不同的共价键半径的元素是除去镓之外的、四配位的离子半径为0.4～0.95nm的元素。
6.如权利要求1或5所述的含镓氧化锌，其特征在于，具有与锌原子的共价键半径不同的共价键半径的元素是除去镓之外的、第13族元素或第14族元素。
7.如权利要求1所述的含镓氧化锌，其特征在于，具有与锌原子的共价键半径不同的共价键半径的元素是氟元素或氯元素。
8.一种含镓氧化锌薄膜，其特征在于，其包括权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的含镓氧化锌，膜厚是5μm以下，日光透过率Ts和可见光线透过率Tv是Ts≤1.4Tv-39。
9.如权利要求8所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，膜厚是5000nm以下，可见光线透过率Tv是70％以上及/或波长500nm的光线的透过率是70％以上。
10.如权利要求8或9所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，膜厚是30～350nm时，日光透过率Ts和可见光线透过率Tv是Ts≤1.4Tv-44。
11.如权利要求8或9所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，膜厚是350～5000nm时，日光透过率Ts和可见光线透过率Tv是Ts≤1.4Tv-54。
12.如权利要求8或9所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，波长750nm的光线的透过率是88％以下。
13.如权利要求12所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，波长750nm的光线的透过率是75％以下。
14.如权利要求8或9所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，波长1000nm的光线的透过率是80％以下。
15.如权利要求14所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，波长1000nm的光线的透过率是60％以下。
16.如权利要求8或9所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，波长1200nm的光线的透过率是65％以下。
17.如权利要求16所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，波长1200nm的光线的透过率是35％以下。
18.如权利要求8或9所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，波长1500nm的光线的透过率是40％以下。
19.如权利要求18所述的含镓氧化锌薄膜，其特征在于，波长1500nm的光线的透过率是15％以下。
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