[发明专利]导电性接触器单元及导电性接触器

说明书

技术领域

本发明涉及将具备多个第1连接端子的第1电路结构和具备多个第2连接端子的第2电路结构之间进行电连接的导电性接触器单元以及用于构成导电性接触器单元的导电性接触器。

背景技术

以往，在半导体集成电路等检查对象的电气特性检查有关的技术领域中，公知有导电性接触器单元相关的技术，该导电性接触器单元具有通过与半导体集成电路的连接端子对应地配设多个导电性接触器且将导电性接触器与连接端子物理性接触而使电导通得以确保的功能。该导电性接触器单元是至少具有多个导电性接触器、及用于保持导电性接触器的保持部的构造。对应随着作为检查对象的半导体集成电路等的微细化倾向而连接端子排列间隔的狭小化，在导电性接触器单元中也需将多个导电性接触器的排列间隔狭小化，因此，针对可实现排列间隔狭小化的导电性接触器及具备导电性接触器的导电性接触器单元的构成，提出了各种各样的方案。

例如，作为实现排列间隔狭小化的导电性接触器，提出了将与检查对象等接触的接触部、及对接触部赋予弹发力的弹性部通过板状导电性部件形成为一体的构造的方案。例如，理论上可将板状导电性接触器在板厚方向排列从而在狭小区域配置多个导电性接触器，并且可实现检查对象具备的连接端子的排列间隔狭小化所对应的导电性接触器(例如，参照专利文献1)。

[专利文献1]日本特开2001-343397号公报

但是，以往的导电性接触器单元，尽管导电性接触器具有上述构成，仍然存在针对检查对象的连接端子排列间隔狭小化而难于应对的问题。以下，对相关问题进行详细的说明。

参照专利文献1的图8可得知，以往的导电性接触器单元中，采用在保持部(在专利文献1为绝缘基板61)形成引导孔且由相关引导孔收容导电性接触器的构造。因而，以往的导电性接触器单元中，对于保持部，根据导电性接触器个数所对应的引导孔的排列间隔，规定导电性接触器的排列间隔，但如引导孔那样的贯穿孔，根据形成对象(保持部)的物理性强度等来限制形成间隔的最小值。因此，以往的导电性接触器单元具有以下问题，尽管就导电性接触器其本身，可将排列间隔充分狭小化，但由于保持部的构造相关的对策不充分，因此难于将导电性接触器的排列间隔狭小化。

并且，在导电性接触器具有板状构造的情况下，在弹性部处于伸缩动作之际，必需防止产生压曲(buckling)及扭曲。亦即，形成为板状的导电性接触器是板状，从而板厚方向(专利文献1的图2的纸面垂直方向)的长度(板厚)比其他方向的长度小得多，由此具有物理性强度低的问题。为此，尤其当外力作用在弹性部收缩的方向时，导电性接触器存在随着弹性部的收缩而产生压曲、扭曲等之虞，且具有因该压曲等而使弹性部的弹簧特性劣化等问题。此外，在专利文献1所记载的导电性接触器单元中，引导孔是具有可将压曲做某种程度缓和的部件，但借助剖面形状被认为是圆形的引导孔，缓和导电性接触器在长方向中心轴的周方向可能产生的扭曲是极其困难的。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而作成的，其目的在于实现不仅可应对排列间隔的狭小化、并且在具备伸缩自如的弹性部的导电性接触器的特性不受损坏的状态下保持导电性接触器的导电性接触器单元及导电性接触器。

为了解决上述问题且达成目的，权利要求1相关的导电性接触器单元，相对具备多个连接端子的电路结构，通过与上述连接端子物理性接触而与其电连接，其特征在于，该导电性接触器单元具备：多个导电性接触器，其中使用时与上述连接端子接触的多个第1接触部、与上述第1接触部电连接的多个第2接触部、以及形成在上述第1接触部和上述第2接触部之间不仅可沿长边方向伸缩自如且对上述第1接触部及上述第2接触部赋予弹发力的弹性部，被形成为一体；保持部，具有在上述弹性部的伸缩方向延伸的构造，并形成有可使上述导电性接触器的一部分沿上述伸缩方向滑动自如地嵌入的多个引导沟，且在该引导沟中嵌入有上述导电性接触器的一部分的状态下保持上述导电性接触器。

根据本权利要求1所述的发明，导电性接触器的一部分嵌入在形成于保持部的引导沟的状态下被保持，且引导沟按照导电性接触器在伸缩方向嵌入的一部分可滑动自如的方式形成，因此在构成导电性接触器的弹性部收缩时，嵌入在引导沟的导电性接触器的一部分仅在伸缩方向移动，而与该一部分一体形成的其他部分亦仅在伸缩方向移动，因此可避免与伸缩方向垂直的方向相关的局部性变位即压曲、扭曲等变形在导电性接触器中产生。