[发明专利]用于使物体以二自由度倾斜的微机电装置

权利要求书

1.一种用于使物体(2，2a)以二自由度倾斜的微机电装置(1，1’，1″)，所述微机电装置包括承载元件(3，3a)和隔膜(4，4a)，物体(2，2a)通过隔膜(4，4a)与承载元件(3，3a)连接，其中物体(2，2a)和承载元件(3，3a)分别包括至少一个电极(5，6，6a)，且物体(2，2a)通过物体(2，2a)的至少一个电极(5)与承载元件(3，3a)的至少一个电极(6，6a)之间的静电力(7)被倾斜，电压从电压源(V)施加到电极(5，6，6a)。

2.如权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，所述隔膜是聚合物隔膜(4，4a)。

3.如权利要求1或2所述的微机电装置，其特征在于，所述隔膜(4，4a)对于不同倾斜方向具有不同的特征频率。

4.如权利要求1、2或3所述的微机电装置，其特征在于，所述隔膜(4，4a)是非旋转对称形状。

5.如权利要求1至4任一要求所述的微机电装置，其特征在于，所述隔膜(4，4a)为椭圆形。

6.如权利要求1至4任一要求所述的微机电装置，其特征在于，所述隔膜(4，4a)为矩形。

7.如权利要求1至6任一要求所述的微机电装置，其特征在于，物体(2，2a)的倾斜由具有位置传感的闭合反馈环路控制。

8.如权利要求1至7任一要求所述的微机电装置，其特征在于，物体(2，2a)的至少一个电极(5)由横过隔膜(4，4a)的至少一根导线(8’，8a’)连接到电压源。

9.如权利要求8所述的微机电装置，其特征在于，横过隔膜(4，4a)的至少一根导线(8’，8a’)是Z字形。

10.如权利要求1至9任一要求所述的微机电装置，其特征在于，物体是光学元件(2，2a)。

11.如权利要求10所述的微机电装置，其特征在于，光学元件是偏转镜(2，2a)。

12.一种光学扫描装置(9)，包括光源(10)、偏转镜(2)和用于使如权利要求11所述偏转镜(2)倾斜的微机电装置(1)，所述偏转镜(2)将从光源(10)投射的光束(11)反射偏转以扫描表面。