[发明专利]磁控管的控制方法、磁控管的寿命判定方法、微波发生装置、磁控管的寿命判定装置、处理装置、计算机程序和存储介质无效
| 申请号: | 200680002469.2 | 申请日: | 2006-08-30 |
| 公开(公告)号: | CN101107693A | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
| 发明(设计)人: | 河西繁;长田勇辉 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号: | H01J23/34 | 分类号: | H01J23/34;C23C16/511;H01J23/04;H01L21/3065;H05B6/68;H05H1/00;H05H1/46 |
| 代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 磁控管 控制 方法 寿命 判定 微波 发生 装置 处理 计算机 程序 存储 介质 | ||
1.一种磁控管的控制方法,其特征在于,
所述磁控管产生微波,具备:包括灯丝的阴极;与该阴极相对配置的包括空腔谐振器的阳极;和提供与所述阴极和所述阳极的配置方向正交的磁场的磁场发生器,
所述磁控管的控制方法包括:
向所述灯丝供给电力的工序;
基于在所述灯丝上施加的电压和流经所述灯丝的电流,求出所述灯丝的电阻值的电阻值计算工序;
基于在所述电阻值计算工序中求出的电阻值和预先求出的所述灯丝的电阻-温度相关特性,求出所述灯丝温度的温度计算工序;和
通过调整流经所述灯丝的电流和/或在灯丝上施加的电压,控制在所述温度计算工序中求出的灯丝温度,使其维持在规定的温度范围内的温度控制工序。
2.如权利要求1所述的磁控管的控制方法,其特征在于:
所述规定的温度范围为1900~2100℃的范围。
3.一种磁控管的寿命判定方法,其特征在于,
所述磁控管产生微波,具备:包括灯丝的阴极;与该阴极相对配置的包括空腔谐振器的阳极;和提供与所述阴极和所述阳极的配置方向正交的磁场的磁场发生器,
所述磁控管的寿命判定方法包括:
向所述灯丝供给电力,使磁控管工作,产生预先确定的频率的微波的工作开始工序;
逐渐降低在所述灯丝上施加的电压,求出产生模变现象时向所述灯丝施加的电压作为模变电压的模变电压测定工序;和
基于在所述模变电压测定工序中求出的模变电压,进行所述磁控管的寿命的判定的寿命判定工序。
4.如权利要求3所述的磁控管的寿命判定方法,其特征在于:
在所述寿命判定工序中,当所述模变电压为所述灯丝的额定电压的规定百分比以上时,判定寿命终结。
5.如权利要求3所述的磁控管的寿命判定方法,其特征在于:
在所述寿命判定工序中,当所述模变电压以预先求出的模变电压为基准变化了规定的百分比以上时,判定寿命终结。
6.如权利要求3~5中任一项所述的磁控管的寿命判定方法,其特征在于:
所述磁控管的寿命判定方法,在预先设定的时刻进行。
7.一种微波发生装置,其特征在于,具备:
磁控管,产生微波,具备:包括灯丝的阴极、与该阴极相对配置的包括空腔谐振器的阳极、和提供与所述阴极和所述阳极的配置方向正交的磁场的磁场发生器;
向所述灯丝可变地供给电力的灯丝电源;
求出流经所述灯丝的电流的电流测定部;
求出在所述灯丝上施加的电压的电压测定部;
基于在所述电流测定部求出的灯丝电流和在所述电压测定部求出的灯丝电压,求出所述灯丝电阻值的电阻值计算部;
基于在所述电阻值计算部求出的电阻值和预先求出的所述灯丝的电阻-温度相关特性,求出所述灯丝温度的温度计算部;和
控制所述灯丝电源,使得在所述温度计算部求出的灯丝温度维持在规定的温度范围内的电源控制部。
8.如权利要求7所述的微波发生装置,其特征在于:
所述灯丝电源为基于PWM(脉宽调制:Pulse Width Modulation)方式的电源,所述电源控制部调整通电角。
9.如权利要求7所述的微波发生装置,其特征在于:
所述灯丝电源为基于晶体管开关的通断方式的电源,所述电源控制部调整所述晶体管开关的栅电流。
10.如权利要求7~9中任一项所述的微波发生装置,其特征在于:
所述规定的温度范围为1900~2100℃的范围。
11.一种磁控管的寿命判定装置,其特征在于,
所述磁控管产生微波,具备:包括灯丝的阴极;与该阴极相对配置的包括空腔谐振器的阳极;和提供与所述阴极和所述阳极的配置方向正交的磁场的磁场发生器,
所述磁控管的寿命判定装置具备:
逐渐降低在所述灯丝上施加的电压,求出产生模变现象时向所述灯丝施加的电压作为模变电压的模变电压测定部;和
基于由所述模变电压测定部求出的模变电压,进行所述磁控管寿命的判定的寿命判定部。
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