[发明专利]管形靶

权利要求书

1.一种管形靶的生产方法，该管形靶包含一钼管或一钼合金管，其含氧量低于50μg/g，相对密度大于理论密度的99％，在轴向方向的横向平均粒径小于100μm，该管形靶还包含一由非磁性材料制成的支承管，其特征在于，本方法至少包含以下生产步骤：

由钼或钼合金生产出金属粉末，该粉末具有按费希尔之说从0.5至10μm的平均粒径；

生坯以管毛坯的形式进行生产，在使用砂芯的挠性铸模中，在压力P下，对金属粉末进行冷等压挤压，其中，压力为100MPa＜P＜500MPa；在温度T下的还原空气或真空中，通过烧结生压制坯进行管毛坯的生产，其中，温度为1600℃＜T_烧结＜2500℃；

通过将管毛坯加热到成型温度T，并对心轴挤压进行靶管的生产，其中，温度为DBTT＜T_成型＜(TS-800℃)；

靶管与支承管进行连接；

机械加工。

2.按照权利要求1所述的管形靶的生产方法，其特征在于，对烧结管毛坯进行机械加工。

3.按照权利要求2所述的管形靶的生产方法，其特征在于，一钢制管尾端件至少固定在管毛坯的一端，它具有与管毛坯近似相同的外径和内径。

4.按照权利要求1至3中任一项所述的管形靶的生产方法，其特征在于，挤压管在还原空气或真空中进行退火，退火温度T为800℃＜T＜1600℃。

5.按照权利要求1至4中任一项所述的管形靶的生产方法，其特征在于，

所述支承管由铜合金、奥氏体钢、钛或者钛合金制成。

6.按照权利要求5所述的管形靶的生产方法，其特征在于，所述铜合金为铜-铬-锆合金。

7.按照权利要求1至6中任一项所述的管形靶的生产方法，其特征在于，所述支承管通过连接的方法同钼管或钼合金管相连接，该连接导致支承管的塑性变形。

8.按照权利要求7所述的管形靶的生产方法，其特征在于，所述支承管通过一成型工序与钼管或钼合金管相连接。

9.一种管形靶的生产方法，该管形靶包含一钼管或一钼合金管，其含氧量低于50μg/g，相对密度大于理论密度的99％，在轴向方向的横向平均粒径小于100μm，该管形靶还包含一由非磁性材料制成的支承管，其特征在于，本方法至少包含以下生产步骤：

由钼或钼合金生产出金属粉末，该粉末具有按费希尔之说从0.5至10μm的平均粒径；

生坯以管毛坯的形式进行生产，在使用砂芯的挠性铸模中，在压力P下，对金属粉末进行冷等压挤压，其中，压力为100MPa＜P＜500MPa；在温度T下的还原空气或真空中，通过烧结生压制坯进行管毛坯的生产，其中，温度为1600℃＜T_烧结＜2500℃；

对管毛坯进行加工，并至少连接一个钢制管尾端件，其中，对位于管毛坯中的一支承管进行固定，该支承管为奥氏体钢毛坯；

对复合管的生产通过加热至成型温度T，并对心轴进行混合挤压，其中，温度为900＜T_成型＜1350℃；

机械加工。

10.按照权利要求9所述的管形靶的生产方法，其特征在于，所述复合管是在还原空气或真空中进行退火，退火温度为800℃＜T＜1300℃。

11.按照权利要求9和10中任一项所述的管形靶的生产方法，其特征在于，在管毛坯与支承管毛坯之间存在一间隙，该间隙为0.2mm至1mm。

12.按照权利要求9和10中任一项所述的管形靶的生产方法，其特征在于，在管毛坯与支承管之间存在一间隙，该间隙为3mm至20mm，使用钢粉末进行填塞。

13.按照权利要求1至12中任一项所述的管形靶的生产方法，其特征在于，在挤压过程中，玻璃粉末用于润滑。

14.按照权利要求1至13中任一项所述的管形靶的生产方法，其特征在于，在挤压过程中，成型度为40％至80％。

15.按照权利要求1至14中任一项所述的管形靶的生产方法，其特征在于，挤压管或复合管通过锻造处理，在心轴上进行拉直。