[发明专利]一种多轴真空电机组件有效
| 申请号： | 200680000204.9 | 申请日： | 2006-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN1942288A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·C·哈德更斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B25J9/12 | 分类号： | B25J9/12 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 电机 组件 | ||
【说明书】：
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