[实用新型]二维位移传感器及应用的大量程表面形貌测量装置

权利要求书

1.一种二维位移传感器，它包括固定支架(1)，其特征是：在固定支架(1)上通过平行簧片(2)连接有可动支架(3)，固定支架(1)和可动支架(3)之间安装有水平位移传感器(11)，可动支架(3)上安装杠杆支点(4)，杠杆支点(4)上安装杠杆(5)，杠杆(5)的一端固定触针(6)，杠杆(5)的另一端与可动支架(3)之间安装有垂直位移传感器(8)。

2.根据权利要求1所述的二维位移传感器，其特征是：垂直位移传感器(8)的构造包括磁芯(9)和电感线圈(10)，磁芯(9)固定在杠杆(5)的右端，电感线圈(10)固定在可动支架(3)上，磁芯(9)置于电感线圈(10)内。

3.根据权利要求1所述的二维位移传感器，其特征是：水平位移传感器(11)的构造包括磁芯(12)和电感线圈(13)，磁芯(12)固定在固定支架(1)上，电感线圈(13)固定在可动支架(3)上，磁芯(12)置于电感线圈(13)内。

4.根据权利要求1所述的二维位移传感器，其特征是：在可动支架(3)与杠杆(5)之间安装有弹簧(7)。

5.一种如权利要求1～4任一所述的应用二维位移传感器的大量程表面形貌测量装置，其特征是：二维位移传感器(14)安装在立柱(25)上，立柱(25)固定在底座(19)上，在底座(19)上设有可水平和垂直移动的垂直扫描工作台(23)，垂直扫描工作台(23)上放置工件(24)；二维位移传感器(14)、垂直扫描工作台(23)通过测控电路(16)连接计算机(15)。

6.根据权利要求5所述的应用二维位移传感器的大量程表面形貌测量装置，其特征是：垂直扫描工作台(23)的构造包括X-Y工作台(18)、斜面机构(20)、压电陶瓷驱动器(21)和工作台(17)；带电机的斜面机构(20)安装在X-Y工作台(18)上，斜面机构(20)上方设有压电陶瓷驱动器(21)，压电陶瓷驱动器(21)上方为工作台(17)，在压电陶瓷驱动器(21)上设有衍射光栅位移传感器(22)。