[实用新型]一种柔性输送装置

权利要求书

1.一种柔性输送装置，用于真空镀膜设备，包括动力驱动系统、导轨和输送带，其特征在于：所述的导轨在真空镀膜设备的镀膜仓中是圆弧或环状形状，导轨在真空镀膜设备的过渡仓中为环形或适宜曲率的曲线形状和/或直线形状；导轨是一种空腔设计，在导轨的横截面上设置与导轨同长的开口，其开口宽度与输送带的厚度相适应，输送带在宽度方向上的一部分进入导轨内部，输送带外露在开口下方的另一部分用于携带工件，在导轨空腔内设置包容输送带上端的定位和行走装置、驱动系统驱动设置在导轨空腔内输送带上端的行走装置，输送带在宽度方向保持刚性，在厚度方向上显示出柔性。

2.按照权利要求1所述的柔性输送装置，其特征在于：所述的导轨可安装在真空镀膜设备的顶部，导轨在真空镀膜设备的镀膜仓中是一种环状的形状，输送带可以做一周或多周运动。

3.按照权利要求1所述的柔性输送装置，其特征在于：两根所述的导轨可相对地安装在真空镀膜设备水平方向的左右两侧。

4.按照权利要求1所述的柔性输送装置，其特征在于：所述真空镀膜设备中临近仓门位置，包括由一个电动或气动装置来操作的一段活动导轨，所述活动导轨可产生位移并可复位，带动仓门打开或关闭。

5.按照权利要求1所述的柔性输送装置，其特征在于：所述的输送带为金属材质，其形状为开有连续孔型长条形带、链条形、弹簧和长条形带的组合、链条和长条形带的组合或复合式的长条形带。

6.按照权利要求1或5所述的柔性输送装置，其特征在于：在所述输送带的适宜位置加工适宜形状和各种适宜的孔型，便于安装定位以及接受驱动。

7.按照权利要求1或5所述的柔性输送装置，其特征在于：所述的输送带沿长度方向运动，被镀工件直接悬挂或装、卡在输送带下端，或者使用工件杆或挂具悬挂或装、卡工件，通过输送带上的辅助装置可实现工件行进过程中自转。

8.按照权利要求1或5所述的柔性输送装置，其特征在于：在导轨中接受驱动的所述输送带在导轨拼接而产生交汇点处，具有与导轨一体的自导向机构或由活动部件组成的它导向装置。

9.按照权利要求1或2所述的柔性输送装置，其特征在于：在导轨处由驱动电动机带动输送带运行。

10.按照权利要求3所述的柔性输送装置，其特征在于：在两导轨处由同步双驱动电动机带动输送带运行。