[实用新型]可调式传递承载硅片的夹具

说明书

技术领域

本实用新型硅片处理设备制造技术领域，涉及一种可调节夹距的传递承载硅片的夹具。

背景技术

硅片的清洗、烘干及废硅料腐蚀处理等过程需要将其固定才能进行，目前常用传递承载硅片的夹具来夹持固定。夹具俗称花篮，由两侧板间固定连接两夹边构成，两夹边上相对应开设凹槽。硅片置入两夹边的凹槽而牢固夹持，方便清洗、烘干、腐蚀等操作。但上述花篮的结构存在一些不足之处，两夹边是固定的，无法调节两夹边的夹持宽度，即每一花篮只能适用于特定规格的硅片，当硅片的规格不同时，需配备与其大小相应的花篮，这样不仅成本高，而且花篮的利用率低、库存空间大。所以有必要对现有花篮的结构进行改进和创新，以克服上述存在的缺点。

发明内容

本实用新型公开了一种可调节的传递承载硅片的夹具。

本实用新型所采用的技术方案：可调式传递承载硅片的夹具，包括侧板、夹边，两侧板间固定连接一夹边，两夹边设置对应凹槽，侧板开设滑道，螺栓穿过滑道将侧板与另一夹边固定连接。

所述的可调式传递承载硅片的夹具，侧板于可移动夹边的上边沿处设凸条。

本实用新型的可调式传递承载硅片的夹具，一夹边与侧板固定连接，另一夹边与侧板通过螺栓连接，该夹边可沿滑道移动，从而调节与固定夹边之间的夹距。因此，本实用新型的夹具可以夹持不同规格的硅片，特别适用于夹持非标准规格的硅片，降低了成本，提高了夹具的利用率，减少了库存空间。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构图。

图2为本实用新型的侧视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作详细说明。

如图1、2所示，两侧板1与定夹边2固定连接，侧板1开设开口8及滑道4，开口8方便提起夹具；螺栓5穿过滑道4并螺入可移动夹边3的螺孔，旋紧螺栓5，将夹边3的两端与两侧板1固定连接；旋松螺栓5，沿滑道4移动夹边3，调节两夹边间的夹距，以夹持不同规格的硅片。夹边2、3相对应地开有凹槽9、7，所夹持的硅片插入两夹边相对应的凹槽，夹持牢固、稳定。

两侧板1内侧面于夹边3的上边沿处设一凸条6，在调节两夹边的夹距时，夹边3不偏转。