[实用新型]光罩盒的定位结构

说明书

技术领域

本实用新型为一种光罩盒的定位结构，尤其涉及一种在半导体晶圆的储运过程使用的光罩盒内的定位结构。

背景技术

当人类生活进入高科技时代的领域中，许多人类生活周遭的用具、物品均以高科技产品取而代的，不仅带给人们许多方便，也同时得以享受高科技的文明进步成果，而在高科技的时代中，大多数物品、用具都会与科技有关或以高科技进行操控，以达到自动化的迅速、确实的目的，所以在人类生活在高科技的领域中，则必须以更进步的知识、技术来控制各种高科技产物，例如：计算机、电视、影音设备、大楼中央管理、汽车、飞机等等食、衣、住、行的相关产品、用具；惟，其中最为重要的对象即在于晶圆，因为晶圆具有极精密的电子电路，其制造过程又利用光罩盒在无尘室中进行高精密度的作业，所以成本也就相当地高昂，因此在制造作业的过程中实不容有小许的错误或些许的偏差，以避免晶圆的制造产生损毁而必须付出相当高的代价。

在一种由惠普公司所提出的SMIF系统已于美国专利第4,532,970号及第4,534,389号中有所说明，SMIF系统的目的为减少半导体晶圆在半导体制程的储运过程中所受的微粒通量。可局部达成此一目的的作法包括：在储运过程中以机械方式确保晶圆周围的气态介质(例如空气或氮气)基本上相对于晶圆而固定不动，及确保周围环境中的微粒不致进入紧邻晶圆的环境中，且SMIF系统可利用一少量、无微粒的气体，为对象提供一干净的环境，且其气体的运动、气流方向及外部污染物均受控制。

而无尘室中为了避免破坏晶圆或光罩，都会采用光罩传送盒来输送晶圆或光罩，但在输送的过程中必须保持晶圆或光罩的稳定与无尘状态，防止晶圆或光罩受到细尘污染或被损毁，而在光罩传送盒使用一段时后，多少都会沾附有少部份的细小微尘、粉尘颗粒、或者肉眼难以辨视的杂质等，所以光罩传送盒必须定时做清洗整理，以确保光罩传送盒内部的无尘状态，而不致于在传送、保存过程中污染光罩，否则当微尘掉落在光罩线路图形上而没有被发现时，会导致后续制作的晶圆全部报废，会使工厂损失惨重。故一般发现有的半导体晶圆工厂多会作定时清洗光罩传送盒的工作，若发现防静电装置已经磨损也必须作定期更换的动作。

而一般用来置放光罩的光罩盒，请参阅图8所示，为现有技术一的光罩盒的侧视剖面图，由图中可清楚的看出，现有技术于光罩盒A内部上下分别设置有相对的凸柱A1，使得光罩B可置放于上下相对设置的凸柱A1之间，利用凸柱A1上下顶压光罩B各角落表面而固定；惟，利用凸柱A1顶固光罩B的方式，常因凸柱A1变形或长度不足，而产生顶固力不佳而令光罩B于光罩盒A滑动，使得光罩盒A于搬运位移时，光罩B各角落处不断地与凸柱A1来回摩擦，因此而产生大量粉尘而对光罩B造成污染。

请参阅图9、图10所示，为现有技术二的光罩盒结构的立体分解图及侧视剖面图，由图中可清楚的看出，此现有技术二于光罩盒C内部上下四角落处设置有ㄇ形的顶体D，藉由顶体D上下顶压光罩B的角落处，以使光罩B定位；然而，利用顶体D顶压于光罩B的方式，亦会因顶固力不佳，而使得光罩B各角落处不断地来回摩擦，进而产生大量粉尘而对光罩B造成污染。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种光罩盒的定位结构，该定位结构可以使光罩于光罩盒内能呈一定位，且减少光罩于光罩盒发生偏位的情形，并避免光罩与光罩盒相互摩擦以避免产生大量粉尘。

为达成上述目的及功效，本实用新型所采用的技术特征如下：

一种光罩盒的定位结构，该光罩盒的容置空间的壁面设置有数个定位件，而各定位件于基部的顶面设有向上延伸且反转朝向基部的弯折部，而弯折部外侧设有导引面，并于其自由端依序设有抵压部与抵持部，而定位件的基部为通过定位手段以固定于容置空间的壁面，以利用各定位件的导引面导正光罩的位置，以避免光罩发生偏位，再通过各定位件的抵压部与抵持部顶持光罩使其呈一定位状态。

通过上述技术特征，本实用新型的光罩盒的定位结构于实际使用时具有以下优点：

(一)本实用新型的定位件会通过导引面将限位片上方的光罩导引至定位，避免光罩于盒体1内产生偏位。

(二)本实用新型的定位件通过弯折部的抵压部与抵持部的弹性抵靠，使光罩不会与各定位件产生摩擦，进而防止光罩磨损及避免产生粉尘，以保持光罩盒的无尘状态。

(三)本实用新型的定位件仅于弯折部的自由端产生变形位移，如此不但减少弯折部抵持光罩时的变形位移量，并使光罩收容于盒体的容置空间内，于运输的过程中使其具有避震器的缓冲效果。