[实用新型]涡旋式无油真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种涡旋式无油真空泵。

背景技术

涡旋式真空泵是涡旋式压缩机演化而来的，国内上个世纪90年代初，从美国引进了此项技术和专用加工设备，制造压缩机出现的问题是由于没有很好的解决密封和间隙的问题，第一种现象是，间隙太小，由于摩擦力太大，零件因热变形而将齿折断或将主支撑轴承损坏而折齿，真空泵更是此类现象，因为无油，磨损干涉或泄漏比压缩机更为严重。我们知道大气压约为10⁵Pa，一般压缩机能达到10⁶Pa也就足够了，所以只压缩一个数量级而且还是在有油润滑和密封状态下，而真空泵一般要求达到1Pa以下，因此要抽到5个数量级以上，还是在无油状态下，所以难度更大。在研究过程中，因为没有很好的解决密封和间隙问题而折齿或引起极限真空度达不到要求而停止研究，所以，这些问题已成为亟待解决的难题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封性好，且具有自动补偿动静盘间隙功能的涡旋式无油真空泵。

本实用新型是通过以下技术方案来实现的：

一种涡旋式无油真空泵，包括由主驱动轴驱动的动盘，和与动盘匹配的静盘，其中动盘齿与静盘齿相配合，所述动盘齿和静盘齿的形线端面上分别设有与形线相匹配的密封槽，在所述的密封槽中设置具有弹性的密封条；在所述的动盘齿和静盘齿的表面设置一层减磨层。

所述的密封条由两层材质轴向拼接组合而成，由盘心向外的内层是弹性耐高温层，外层是耐磨自润滑层。

所述的密封条内层是耐高温的高弹性氟橡胶层，外层是含铜聚四氟乙烯层。

所述的减磨层是一陶瓷层。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、本实用新型在动盘齿和静盘齿的形线端面上设置密封槽，在密封槽内镶嵌具有两种复合材料制作的组合式密封条，利用其弹性变形来自动补偿间隙，使外层一直压紧端面摩擦面，从而保证动盘和静盘的端面密封效果。

2、本实用新型在动盘齿和静盘齿的表面进行陶瓷化处理，使其达到一定的硬度要求，不但能提高表面强度而且使齿面具有一定的韧性，以达到调整径向间隙的目的；另外，由于材质的原因，使得动静盘本身有许多气孔，陶瓷层能有效的密封，保证工作腔的真空度。

附图说明

图1是本实用新型的剖视放大示意图；

图2是本实用新型动盘的端面示意图；

图3是本实用新型静盘的端面示意图；

图4是动盘齿的横截面结构示意图；

图5是本实用新型密封条的端面示意图；

图6是图5中A向横截面示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

实施例

如图所示，本实用新型所述的涡旋式无油真空泵，包括由主驱动轴1驱动的动盘2，和与动盘相匹配的静盘3、31，其中动盘齿4与静盘齿5相配合，所述的动盘齿4和静盘齿5的形线断面上分别设有与形线相匹配的密封槽6，其中静盘齿的横截面结构同图4所示的动盘齿的横截面的结构；在所述的密封槽6中设置具有弹性的耐高温耐磨密封条7，所述的密封条由两层材质纵向拼接组合而成的，外层是具有耐磨自润滑的含铜聚四氟乙烯层8；内层是弹性耐高温的氟橡胶层9，利用其内层弹性变形来自动补偿间隙，使外层一直压紧端面摩擦面，从而保证动盘和静盘的端面密封效果。

在所述的动盘齿4和静盘齿5的形线表面设置一层陶瓷层10，不但增强其耐磨性，还能有效的保证工作腔的真空度。