[实用新型]一种高分辨率微纳光学加速度计无效
| 申请号： | 200620105202.3 | 申请日： | 2006-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN200959015Y | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 倪玮;吴兴坤;李书;林巧 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高分辨率 光学 加速度计 | ||
1.一种高分辨率微纳光学加速度计，其特征在于：包括微纳米直径光纤(1)、微光学波导阵列板(2)、加速度计质量块(3)、光源(5)、光敏元件(6)、信号处理电路板(7)和驱动器(8)；其中微光学波导阵列板(2)设置在加速度计质量块(3)上，微光学波导阵列板(2)上刻有条状透明波导阵列，微纳米直径光纤(1)由普通光纤段、拉锥耦合过渡段、微纳米直径输出段组成，普通光纤段与光源(5)耦合，微纳米光纤输出段与微光学波导阵列板(2)平行靠近，光敏元件(6)同轴设置在微纳米直径光纤的输出口，光敏元件(6)的输出信号接在信号处理电路板(7)的前置放大器的输入端，驱动器(8)与加速度计质量块(3)之间机械连接，信号处理电路板(7)的信号输出端与驱动器(8)电信号连接。
2.一种高分辨率微纳光学加速度计，其特征在于：包括微纳米直径光纤(1)、微光学波导阵列板(2)、加速度计质量块(3)、光源(5)、光敏元件(6)、信号处理电路板(7)和驱动器(8)；其中微光学波导阵列板(2)设置在加速度计质量块(3)上，微光学波导阵列板(2)上刻有条状透明波导阵列，微纳米直径光纤(1)垂直放置在微光学波导阵列板(2)的一侧，微纳米直径光纤(1)输出端口与微光学波导阵列板(2)靠近，光敏元件(6)与微纳米直径光纤(1)同轴设置在微光学波导阵列板(2)的另一侧，驱动器(8)与加速度计质量块(3)之间机械连接，信号处理电路板(7)的信号输出端与驱动器(8)电信号连接。
3.一种高分辨率微纳光学加速度计，其特征在于：包括微纳米直径光纤(1)、柱透镜阵列板(9)、加速度计质量块(3)、光源(5)、光敏元件(6)、信号处理电路板(7)和驱动器(8)；其中柱透镜阵列板(9)设置在加速度计质量块(3)上，柱透镜阵列板(9)上刻有条状透明柱透镜阵列，微纳米直径光纤(1)由普通光纤段、拉锥耦合过渡段、微纳米直径输出段组成，普通光纤段与光源(5)耦合，微纳米光纤输出段与柱透镜阵列板(9)平行靠近，光敏元件(6)同轴设置在微纳米直径光纤的输出口，光敏元件(6)的输出信号接在信号处理电路板(7)的前置放大器的输入端，驱动器(8)与加速度计质量块(3)之间机械连接，信号处理电路板(7)的信号输出端与驱动器(8)电信号连接。
4.一种高分辨率微纳光学加速度计，其特征在于：包括微纳米直径光纤(1)、柱透镜阵列板(9)、加速度计质量块(3)、光源(5)、光敏元件(6)、信号处理电路板(7)和驱动器(8)；其中柱透镜阵列板(9)设置在加速度计质量块(3)上，柱透镜阵列板(9)上刻有条状透明柱透镜阵列，微纳米直径光纤(1)垂直放置在柱透镜阵列板(9)的一侧，微纳米直径光纤(1)的输出端口与柱透镜阵列板(9)靠近，光敏元件(6)与微纳米直径光纤(1)同轴设置在柱透镜阵列板(9)的另一侧，驱动器(8)与加速度计质量块(3)之间机械连接，信号处理电路板(7)的信号输出端与驱动器(8)电信号连接。
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