[实用新型]石英坩埚熔制机的埚体

说明书

技术领域

本实用新型涉及用于拉制电子半导体单晶硅的石英玻璃坩埚技术，特别是坩埚的生产技术设备。

背景技术

为了生产内层具有较少空气层的石英玻璃坩埚，现有熔制机技术用内腔形如石英玻璃坩埚形状的埚体，在埚体上设置通孔，将通孔与埚体外的抽真空装置连接，在埚体内用加热元件使加入埚体内的石英砂热熔，在其定型同时，由于抽真空装置的作用，抽出混杂在石英砂中的空气，最终形成内层空气较少，外层具有一定空气杂质的石英坩埚。为了实现抽真空的气密性，性需在石英玻璃坩埚形状的埚体外包裹密封的外层，耗费的耐高温材料大，加大生产成本，而且外层因与埚体具有一定的间距，在生产过和中易产生变形，也影响了埚体的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型目的在于设计一种节约用材、延长使用寿命的石英坩埚熔制机的埚体。

本实用新型包括金属埚体，在金属埚体的侧壁和底部分部通孔，在各通孔内设置过滤件，在各通孔与埚体外的抽气装置之间连接通气道，各通气道连接在金属埚体的外侧壁上。

在金属埚体的外侧壁的通气道不但可起到连通通孔和抽气装置的作用，其用材可大大减少，而且，在金属埚体外侧壁形面的凸起，可起到对金属埚体加强筋的作用。本实用新型另一效果是，在各通气道之间的金属埚体直接可与外侧的环境介质进行热交换，利于金属埚体的快速降温。另，在各通孔内设置过滤件，使小于空气直径的石英砂被阻挡在通孔内，对真空泵起到保护作用。

上述通孔靠近金属埚体中心的孔径大、远离金属埚体中心的孔径小。

既能通空气被顺利抽出，又能阻挡石英砂。

为了防止置于通孔内的过滤件堵塞通孔，所述通孔为台阶孔。

另外，埚体还设有金属外壳，所述金属埚体及道气道设置在金属外壳内。

可在金属外壳内填充导热材料，或用对流的传热介质及时对埚体降温，以进一步提高埚体的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图；

图2为埚体的局部放大图。

具体实施方式

如图1、2所示，在金属埚体1的侧壁和底部均匀开设若干台阶孔将通孔2，如图2所示，通孔2靠近金属埚体1中心的孔径大、远离金属埚体1中心的孔径小。在各通孔2内分别设置过滤件6，过滤件6可以为成纤维状的石英棉或氧化毛毡，在金属埚体1的外侧壁上，于各通孔2外分别设置由金属材料制成的通气道3，通气道3可成环状或条状，在同一通气道3上可连通多个通孔2，通气道3的另一端设有与埚体1外的抽气装置连接的管道。

金属埚体1及所有通气道3外设置金属外壳5。可在金属外壳5上开设与外界连通的通道4。