[实用新型]一种防划伤的滚轮装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种滚轮装置，尤其是指一种防划伤的滚轮装置。

背景技术

炉管是集成电路制造业中的重要设备，用于在晶圆表面生成非金属薄膜，为晶圆的光刻工序作准备。如图1所示，炉管由加热器3、外管4、内管5、底座6、晶舟1、升降机7等组成。加热器3用于炉管的加热升温；底座6用于承载内、外管；外管4用于晶圆的加热腔室的密封；内管5置于外管4内部，用于与外管5的空间相隔离，以形成晶圆的加热腔室；晶舟1用于承载晶圆；升降机7用于控制晶舟1的运动，从而进行取、放晶圆的操作。

炉管设备在运行一段时间后，内管5和外管4表面会生成一定厚度的非金属薄膜，对正常的工作造成影响，因此需要定期拆卸内管5和外管4对其进行清洗。在拆卸过程中，由于机台和拆卸装置水平误差及重力影响、拆卸装置的抖动、人为碰动内管5等造成内管5倾斜或颤动，从而接触到底座6内侧壁上突出的圆心定位装置，进而划伤内管5。该划伤会缩短内管5的使用寿命；同时，划伤处易积聚粉尘，由于晶圆的制造过程对环境要求非常严格，粉尘有可能造成晶圆的短路等。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防划伤的滚轮装置，有效避免内管的划伤。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：所述装置至少包括支架、滚轮、顶紧螺栓、挡圈和轴，所述轴穿过滚轮的中心位置，所述轴和滚轮之间设有挡圈，所述支架套接于一本体的突出部位。

进一步地，所述本体是炉管底座。所述突出部位是圆心定位装置，材质是不锈钢等硬质材料。所述滚轮的材质是聚四氟或聚胺脂等软质材料。

本实用新型的优点在于：由于滚轮的材质是聚四氟或聚胺脂等软质材料，故将其套接于圆心定位装置上，可有效避免内管的划伤，从而避免粉尘的积聚，保证炉管装置内的洁净的运行环境。

另外，可转动滚轮起导向作用，易于内管的拆卸和安装。

附图说明

图1是炉管的三维结构示意图；

图2是本实用新型的滚轮装置的三维结构示意图；

图3是本实用新型的滚轮装置的主视图；

图4是本实用新型的滚轮装置的左视图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型作详细说明。

图2、图3和图4分别是本实用新型的滚轮装置的三维结构示意图、主视图和左视图。所述装置至少包括支架8、滚轮12、顶紧螺栓11、挡圈9和轴10，所述轴10穿过滚轮12的中心位置，轴10和滚轮12之间设有挡圈9，所述支架8套接于底座6内侧壁上突出的圆心定位装置上。滚轮12由聚四氟或聚胺脂等软质材料制成。

圆心定位装置一般由不锈钢等硬质材料制成，当内管5发生倾斜时，很容易划伤内管5。安装滚轮装置后，突出部位是滚轮12，材质硬度低，可防止内管5被划伤。同时滚轮12可以转动，起导向作用，易于内管5的拆卸和安装。该滚轮装置也是可拆卸的，当拆卸或安装内管5时，将所述装置套在圆心定位装置上起保护作用，内管拆卸或安装完毕后，即可将所述装置取下。

所述滚轮装置的安装和拆卸步骤分别如下：安装时先将支架8套装在底座6内侧壁的圆心定位装置上，然后拧紧顶紧螺栓11即可；拆卸时先松动顶紧螺栓11，然后将支架8从圆心定位装置上取下即可。

底座6内侧壁上有三个圆心定位装置，故需三个上述的滚轮装置进行保护。根据具体的圆心定位装置的数量，需设置相应数量的滚轮装置。

以上已描述了本实用新型的具体实施方式，但本实用新型不局限用于炉管的内管保护。具体的说，可以用于对任何突出部件的防护。因此，虽然已公开了本实用新型的优选实施例，但本领域技术人员将会意识到，在不背离权利要求书中公开的本实用新型范围的情况下，任何修改、添加和替换均属于本实用新型的保护范围。