[实用新型]数字电子剪切散斑干涉仪

权利要求书

1.一种数字电子剪切散斑干涉仪，包括一激光器、一扩束机构、一剪切镜、一剪切镜驱动机构、一偏振片、一数字化成像装置以及一计算机，扩束机构位于激光器出射光束的光路上，剪切镜位于从被测物体表面反射的光束的光路上，剪切镜驱动机构与所述剪切镜相连并驱动剪切镜沿垂直于和平行于反射光束的方向位移，偏振片设置于从剪切镜出射的光束的光路上，数字化成像装置位于成像平面处，计算机与数字化成像装置连接；其特征在于，

所述剪切镜为大剪切镜或小剪切镜；

所述剪切镜驱动机构包括一水平位移装置和一垂直位移装置，所述水平位移装置包括水平位移台、第一步进电机以及第一控制器，所述水平位移台承载所述剪切镜和偏振片，所述第一步进电机驱动剪切镜和偏振片沿平行于反射光束方向位移，所述第一控制器与第一步进电机电连接；所述垂直位移装置包括垂直位移台、第二步进电机以及第二控制器，所述垂直位移台垂直于水平面设置且与所述水平位移台相连，所述第二步进电机驱动水平位移台沿垂直于反射光束方向位移，所述第二控制器与第二步进电机电连接；所述第一控制器和第二控制器分别连接到所述计算机。

2.如权利要求1所述的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于，还包括一用于在被测物体表面形成散斑的漫射元件，设于所述扩束机构的出射光路上。

3.如权利要求2所述的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于，所述漫射元件由全息漫射片或双面细磨砂的毛玻璃构成。

4.如权利要求1所述的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于，所述水平位移台包括一位于下层的不动层和一位于上层的可移动层，所述可移动层承载所述剪切镜和偏振片，所述第一步进电机设于所述不动层上，并与所述可移动层传动相连。

5.如权利要求1所述的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于，所述垂直位移台包括一不动层和一可移动层，所述可移动层与所述水平位移台垂直连接，所述第二步进电机设于所述不动层上，并与所述可移动层传动相连。

6.如权利要求4所述的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于，所述水平位移台还包括一遮挡物和一光电开关，所述遮挡物设于所述可移动层上，所述光电开关设于所述不动层上位于所述可移动层的行程终点处，且面向所述遮挡物，所述光电开关具有相对的发射极和接收极，发射极和接收极均与所述第一控制器电连接。

7.如权利要求5所述的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于，所述垂直位移台还包括一遮挡物和一光电开关，所述遮挡物设于所述可移动层上，所述光电开关设于所述不动层上位于所述可移动层的行程终点处，且面向所述遮挡物，所述光电开关具有相对的发射极和接收极，发射极和接收极均与所述第二控制器电连接。

8.如权利要求1所述的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于，所述激光器为外置式激光器。

9.如权利要求1所述的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于，所述扩束机构由过球面扩束镜构成。