[实用新型]炉管清洗装置无效
| 申请号： | 200620048221.7 | 申请日： | 2006-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN200988041Y | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 庄忠尔;元文帅 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/02 | 分类号： | B08B9/02;B08B3/08;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉管 清洗 装置 | ||
1、一种炉管清洗装置，包括酸槽、水槽、导轨、传送臂和升降装置，所述导轨位于所述酸槽和所述水槽上方，所述传送臂安装于所述导轨上，并沿所述导轨传送炉管，所述升降装置与所述导轨相连，用于升降所述炉管，其特征在于：所述酸槽包含第一酸槽和第二酸槽，所述传送臂包含第一传送臂和第二传送臂，且所述第一酸槽和所述第二酸槽分别位于所述水槽的两侧。
2、如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述导轨由所述第一酸槽上方延伸至所述第二酸槽上方。
3、如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述第一传送臂在所述第一酸槽和水槽间运动，所述第二传送臂在所述第二酸槽和水槽间运动，且所述第一传送臂与第二传送臂的运动方向相同。
4、如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述升降装置位于升状态时，进行装卸或传送所述炉管的操作；所述升降装置位于降状态时，进行酸清洗和水冲洗所述炉管的操作。
5、如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述第一酸槽和所述第二酸槽用于放置不同的酸溶液。
6、如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述第一传送臂与第二传送臂为左右对称安装。
7、如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述导轨包含第一导轨和第二导轨，所述第一导轨由所述第一酸槽上方延伸至所述第二酸槽上方，所述第二导轨由所述第二酸槽上方延伸至所述第一酸槽上方，且所述第一传送臂安装在所述第一导轨上，所述第二传送臂安装在第二导轨上。
8、如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述导轨包含第一导轨和第二导轨，所述第一导轨由所述第一酸槽上方延伸至所述水槽上方，所述第二导轨由所述第二酸槽上方延伸至所述水槽上方，且所述第一传送臂安装在所述第一导轨上，所述第二传送臂安装在第二导轨上。
9、如权利要求7或8所述的清洗装置，其特征在于：所述第一导轨和第二导轨分别与一升降装置相连。
10、如权利要求7或8所述的清洗装置，其特征在于：所述第一导轨与第二导轨的安装位置上下或左右交错。
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