[实用新型]晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置无效
| 申请号： | 200620048051.2 | 申请日： | 2006-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN200978306Y | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | 万尤宝;刘俊星 | 申请（专利权）人： | 嘉兴学院;嘉兴市晶英光电子技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B11/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 314001*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体生长 系统 中的 旋转 坩埚 支撑 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置，包括电源，升降电机，与升降电机连接的引下装置，与引下装置连接的升降台，以及位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管，其特征在于：每个导向管支架的下端设置有旋转轴，旋转轴贯穿升降台，旋转轴下端伸出升降台的部分分别连接有互相啮合的齿轮，其中一个旋转轴比其它旋转轴长，该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连接一固定在升降台上的旋转电机。
2、如权利要求1所述的晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置，其特征在于：所述的旋转电机和电源之间连接有数字变频器。
3、如权利要求1所述的晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置，其特征在于：所述的导向管支架和导向管之间设置有紧固装置。
4、如权利要求3所述的晶体生长系统中的可旋转坩埚支撑装置，其特征在于：所述紧固装置为螺钉紧固件或固定弹簧片。
5、如权利要求1所述的晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置，其特征在于：导向管是一根完整的管。
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