[实用新型]探针卡无效
| 申请号： | 200620046600.2 | 申请日： | 2006-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN200986568Y | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 王俊杰;陈雷;陈荣堂;苏凤莲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王函 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【权利要求书】：
1、一种探针卡，包括用于与样品连接的两排探针a排、b排，a排位于探针卡左侧，b排位于探针卡右侧，其特征在于，还包括用于与信号源连接的探针；在测试时，所述用于与信号源连接的探针和a排、b排探针相连接。
2、如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述用于与信号源连接的探针包括四排，该四排探针从左向右依次排序，其中，第一排和第四排位于探针卡最外侧，直接与信号源相连；第二排位于第一排和a排中间，与第一排相连；第三排位于b排和第四排探针中间，与第四排相连；在测试时，第二排、第三排探针分别与a排、b排探针相连。
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