[实用新型]高温超导带材化学溶剂法连续动态外延生长超导薄膜装置

权利要求书

1.一种高温超导带材化学溶剂法连续动态外延生长超导薄膜装置，包括化学溶剂储槽(9)、热处理炉(5)、放带轮(1)和收圈轮(6)，其特征在于所述的化学溶剂储槽(9)中设置一个涂层导向轮(8)，所述的热处理炉(5)前方设置一个炉前导向轮(3)，所述的放带轮(1)带有制动装置，所述的收圈轮(6)由一个旋转电机(10)驱动。

2.根据权利要求1所述的高温超导带材化学溶剂法连续动态外延生长超导薄膜装置，其特征在于所述的放带轮(1)配有阻尼轴承，使带材(4)始终处于拉紧状态。

3.根据权利要求1所述的高温超导带材化学溶剂法连续动态外延生长超导薄膜装置，其特征在于所述的化学溶剂槽(9)为倒梯形；所述的涂层导向轮(8)以上悬式固定在槽梁上而其导向轮浸渍于化学溶剂中。

4.根据权利要求1所述的高温超导带材化学溶剂法连续动态外延生长超导薄膜装置，其特征在于所述的炉前导向轮(3)安装在一个可调水平移位的转轴上。

5.根据权利要求1所述的高温超导带材化学溶剂法连续动态外延生长超导薄膜装置，其特征在于涂层导向轮(8)与炉前导向轮(3)之间装有导轮(2)。

6.根据权利要求1所述的高温超导带材化学溶剂法连续动态外延生长超导薄膜装置，其特征在于所述的收圈轮(6)安装在一个轴向进动装置(7)上。

7.根据权利要求6所述的高温超导带材化学溶剂法连续动态外延生长超导薄膜装置，其特征在于所述的轴向进动装置(7)的结构是：所述的旋转电机(10)和收圈轮(6)安置在一个移动座(11)上；一个底座(15)上安装由一个进动机构，进动机构由一个进动电机(12)经联轴节(13)连动一根螺杆(14)，螺杆(14)与一个螺母(16)旋配，螺母(16)与所述的移动座(11)固定连接。

8.根据权利要求7所述的高温超导带材化学溶剂法连续动态外延生长超导薄膜装置，其特征在于所述的旋转电机(10)和进动电机(12)均为可调速和可调正逆向旋转的步进电机。