[实用新型]一种具有低功耗或数字信号输出性能的新型敏感元件无效
申请号: | 200620021316.X | 申请日: | 2006-07-28 |
公开(公告)号: | CN200972869Y | 公开(公告)日: | 2007-11-07 |
发明(设计)人: | 孙英达;付云鹏 | 申请(专利权)人: | 孙英达;付云鹏 |
主分类号: | H01L47/00 | 分类号: | H01L47/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150090黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 功耗 数字信号 输出 性能 新型 敏感 元件 | ||
1.一种具有低功耗或数字信号输出性能的新型敏感元件,其结构由N型区、P型区、上电极和下电极四层结构构成,其特征是:N型区(1)由掺磷的N型高阻硅单晶作为衬底,P型区(2)以铝和硼作掺杂源经扩散而形成,并从N面扩散金或铂,且扩透整个P型区(2),上电极(3)和下电极(4)可采用镍、铝,或金用以形成欧姆接触。
2.根据权利要求1所述的敏感元件,其特征是:元件的上电极(3)和下电极(4)采用全覆盖型电极结构。
3.根据权利要求1所述的敏感元件,其特征是:元件的上电极(3)采用部分覆盖,下电极(4)采用全覆盖型电极结构,或者上电极(3)采用全覆盖,下电极(4)采用部分覆盖型电极结构。
4.根据权利要求1所述的敏感元件,其特征是:元件的上电极(3)采用全覆盖,下电极(4)采用圆点型电极结构,或上电极(3)采用圆点型电极,下电极(4)采用全覆盖型电极结构。
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