[实用新型]一种用于离子注入机的高压自动放电装置无效
| 申请号： | 200620008187.0 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN2935709Y | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 彭立波;孙雪平;何科峰;文超 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/04 | 分类号： | H05F3/04;H01L21/265;C23C14/48;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡静;曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子 注入 高压 自动 放电 装置 | ||
【说明书】：
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