[发明专利]动作传感装置

权利要求书

1.一种动作传感装置，包括一个收容部，一个弹性悬臂，至少一个压阻式传感器，一个连接件，一个空气轴承滑块，一个红外光感应模组，该收容部包括一个前面板及一个后面板，前面板与后面板各包括一个位于面板中间的大孔及多个均匀地环绕该大孔的小孔，该弹性悬臂位于该收容部内，该弹性悬臂具有一个自由端，该连接件固定在该自由端上，该空气轴承滑块可活动地与该连接件连接，且该空气轴承滑块位于前面板的大孔与后面板的大孔相连的范围内，该压阻式传感器贴于该空气轴承滑块的表面，该红外光感应模组位于该前面板上，可接收红外光。

2.如权利要求1所述的动作传感装置，其特征在于，所述的弹性悬臂为一个不锈钢弹性薄片，该连接件固定在该薄片的自由端的一个下表面上。

3.如权利要求1所述的动作传感装置，其特征在于，所述的大孔半径与小孔半径的比例为3至10。

4.如权利要求1所述的动作传感装置，其特征在于，所述的红外光感应模组包括一个感应传感器，一个红外光通带滤光片，一个非球面镜片，及一个红外光玻璃；该红外光通带滤光片，该非球面镜片，及该红外光玻璃是沿该感应传感器由近至远的方向排列。

5.如权利要求1所述的动作传感装置，其特征在于，所述的空气轴承滑块与该连接件的连接为可活动的点连接。

6.如权利要求1所述的动作传感装置，其特征在于，所述的空气轴承滑块的材料为三氧化二铝及碳化钛的混合材料，其中，三氧化二铝占60％至80％，碳化钛占40％至20％。

7.如权利要求6所述的动作传感装置，其特征在于，所述的压阻式传感器包括一个三氧化二铝及碳化钛的混合基底层，一个形成在该混合基底层上的硅层，一个形成在该硅层上的二氧化硅层，其中，多个凹槽自该二氧化硅层延伸至该硅层内，该硅层与空气轴承滑块表面相接触。

8.如权利要求7所述的动作传感装置，其特征在于，所述的硅层的厚度范围为100至1000纳米，所述的二氧化硅层的厚度范围为50至200纳米。

9.如权利要求1所述的动作传感装置，其特征在于，所述的红外光通带滤光片为二氧化钛层与二氧化硅层交替形成的多层膜片。

10.如权利要求9所述的动作传感装置，其特征在于，所述的多层膜片的总层数量为30至50。