[发明专利]平面加工装置及以该加工装置加工的平面载台的支撑方法无效
| 申请号： | 200610172714.6 | 申请日： | 2006-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1990179A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 田中米太;后藤学 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | B24B7/02 | 分类号： | B24B7/02;B24B7/07;B24B41/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 加工 装置 支撑 方法 | ||
【说明书】：
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