[发明专利]射频板条CO2激光器匹配系统可变电容器的自动调节装置及方法无效

专利信息
申请号: 200610166423.6 申请日: 2006-12-25
公开(公告)号: CN1996684A 公开(公告)日: 2007-07-11
发明(设计)人: 高允贵;胡浩;丁义国;李向阳;顾鸿璋;朱永祥;牟文智;张龙华 申请(专利权)人: 江苏新潮科技集团有限公司
主分类号: H01S3/0975 分类号: H01S3/0975;H01S3/097;H01S3/09;H01S3/10
代理公司: 江阴市同盛专利事务所 代理人: 唐纫兰
地址: 214431*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 射频 板条 co sub 激光器 匹配 系统 可变电容器 自动 调节 装置 方法
【说明书】:
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