[发明专利]一种用于单晶炉的柔性水冷金属电极

权利要求书

1.一种用于单晶炉的柔性水冷金属电极，其特征在于：它包括有水冷铜管电极、不锈钢电极夹头、铜密封套，所述的水冷铜管电极的下端与不锈钢电极夹头进行焊接，并形成水冷循环，所述的水冷铜管电极的上部穿过铜密封套，并与铜密封套进行密封焊接。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的柔性水冷金属电极，其特征在于：所述的水冷铜管电极是一根完整的水冷铜管，该水冷铜管穿过所述的不锈钢电极夹头后，再穿回不锈钢电极夹头形成水冷循环。

3.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的柔性水冷金属电极，其特征在于：所述的铜密封套的上半部套接有铜接线箍，该铜接线箍呈开口状，在铜接线箍的开口处弯折伸出两个夹板，在该夹板上穿有将铜接线箍与铜密封套紧密连接的紧固螺栓。

4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的柔性水冷金属电极，其特征在于：在所述的夹板上连接有接线柱。