[发明专利]薄膜晶体管面板的制造及清洁有效
| 申请号： | 200610161859.6 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1979346A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 朴弘植 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/32;G03F7/26;H01L21/84;H01L21/768;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 面板 制造 清洁 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社，未经三星电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610161859.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：图像显示系统
- 下一篇：喷油回转式空气压缩机润滑油及制备方法
