[发明专利]利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置

说明书

技术领域

本发明是有关为去除粘附在平板显示器玻璃和薄膜表面的无机性异物而利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜无机性异物清洁装置的技术。也就是为去除上述玻璃和薄膜的无机性异物而通过送风器喷射空气，将上述喷射的空气通过离子发生器进行离子化，并通过设在上述玻璃和薄膜上端的空气喷射口予以喷射，而上述喷射的空气被形成于上述空气喷射口上端的超声波予以振动，将会去除粘附在玻璃和薄膜表面的无机性异物。此时，上述超声波形成在玻璃和薄膜上端，可向通过上述空气喷射口予以喷射的空气和通过空气吸入口予以排出的空气及玻璃和薄膜本身传达振动，所以说本发明是有关利用超声波可有效去除粘附在玻璃和薄膜表面的无机性异物的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置的技术。

背景技术

通常而言，平板显示器用玻璃和薄膜对微小的灰尘(微粒)反应非常敏感，所以微小的一粒灰尘可左右小至配件大至设备的特点。由于上述原因，在平板显示器用玻璃和薄膜制造工序中主要将微粒降至最少放在首位，通常根据工序进行状况，反复进行清洁作业。

如上所述的现有清洁装置如图1所示，具有如下结构特点：即，为去除粘附在玻璃和薄膜表面的无机性异物而由向玻璃和薄膜喷射空气用送风器(10)和将通过上述送风器(10)予以喷射的空气和被上述喷射的空气予以去除的异物吸入并排出用排气装置(20)组成。上述送风器(10)在为去除异物而喷射空气时，由于上述空气被予以喷射的空气管路(11)呈锯齿形状，所以在上述被喷射的空气上将会发生振动，而上述发生振动的空气将会去除粘附在玻璃和薄膜表面的异物。

然而，如上所述的现有技术由于空气予以喷射的空气管路(11)呈锯齿状，发生机构振动而振动数受限制，以致无法有效去除异物，所以为提高振动数而应喷射高流量的空气，因此，具有发生噪音等缺点。

此外，由于喷射普通空气，在玻璃和薄膜的表面和异物之间发生静电而不易去除异物，并且由于喷射空气后去掉的异物在被排气装置(20)吸入之前产生涡流而又发生了去除的异物重新被粘附的问题。

发明内容

本发明旨在解决上述问题，在平板显示器玻璃和薄膜上端形成超声波，只要在上述超声波中产生振动，就向送风器喷射的空气和排气装置吸入的空气以及上述玻璃和薄膜本身传达振动，以此有效去除在玻璃和薄膜表面形成的异物。通过在超声波中产生的振动，以低流量的空气就可去除玻璃和薄膜之异物，以此提供利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置。

本发明的另一目的在于，在送风器中形成离子发生器，将在上述送风器中供应的空气进行离子化，并将在上述玻璃和薄膜形成的静电作用降至最小，以此去除异物。当上述超声波产生振动时，可通过设在清洁装置内部且连接送风器和空气喷射口的空气管路和连接排气装置和空气吸入口的空气管路吸收在上述超声波内部产生的热量，并通过超声波本身产生的热量可防止上述超声波的破损及故障，以此提供利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置。

附图说明

图1是有关现有清洁装置的结构图。

图2是在本发明中，利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置截面图。

图3是在本发明中，利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜用无机性异物清洁装置结构图。

附图主要部分的符号说明

100：送风器        110：空气喷射口

200：离子发生器    300：排气装置

310：空气吸入口    400：超声波

具体实施方式

本发明是有关为去除粘附在平板显示器玻璃和薄膜表面的无机性异物而利用超声波的平板显示器玻璃和薄膜无机性异物清洁装置的技术。本发明由如下结构组成：即，向上述玻璃和薄膜喷射空气的送风器；通过上述送风器将喷射在玻璃和薄膜的空气和被空气去除的无机性异物予以吸入的排气装置；在上述玻璃和薄膜上端形成并产生振动，并向通过上述送风器予以喷射的空气和通过排气装置予以吸入的空气以及玻璃和薄膜传达振动的超声波；在上述超声波的下端形成并将被上述超声波通过振动接受的空气喷射至上述玻璃和薄膜的空气喷射口；将空气喷射口喷射的空气和被上述喷射的空气从玻璃和薄膜予以去除的无机性异物通过排气装置吸入并排出的空气吸入口。

此外，上述送风器通过将喷射的空气进行离子化，为了容易去除上述玻璃和薄膜的无机性异物，还包括解除上述无机性异物和玻璃和薄膜之间静电作用的离子发生器。