[发明专利]曝光方法、曝光装置及元件制造方法有效
| 申请号： | 200610161765.9 | 申请日： | 2003-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1983037A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 奈良圭 | 申请（专利权）人： | 尼康株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 方法 装置 元件 制造 | ||
【说明书】：
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