[发明专利]磁控管溅射电极与应用磁控管溅射电极的溅射装置有效
| 申请号： | 200610160965.2 | 申请日： | 2006-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN1978698A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李尚浩;小松孝;中村肇;新井真;清田淳也;谷典明 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控管 溅射 电极 应用 装置 | ||
【说明书】：
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