[发明专利]包括n+界面层的可变电阻随机存取存储器有效
申请号: | 200610160399.5 | 申请日: | 2006-11-15 |
公开(公告)号: | CN101097988A | 公开(公告)日: | 2008-01-02 |
发明(设计)人: | 赵重来;李殷洪;斯蒂法诺维奇·金瑞克;埃尔·M·鲍里姆 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L27/24 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 界面 可变 电阻 随机存取存储器 | ||
1.一种可变电阻随机存取存储器,包括:
下电极;
n+界面层,形成在所述下电极上;
形成在所述n+界面层上的缓冲层;
氧化物层,其形成在所述缓冲层上并具有可变电阻特性;及
上电极,形成在所述氧化物层上,
其中所述n+界面层由选自包括ZnOx、TiOx和IZOx的欠氧氧化物,及包括ZnO、TiO和IZO的高度掺杂以n型杂质的氧化物构成的组的至少一种形成。
2.如权利要求1的可变电阻随机存取存储器,其中所述氧化物层由p型过渡金属氧化物形成。
3.如权利要求1的可变电阻随机存取存储器,其中所述氧化物层是Ni氧化物层。
4.如权利要求1的可变电阻随机存取存储器,其中所述下电极由选自Ni、Co、Cr、W、Cu、Ti、或这些金属的合金构成的组的一种形成。
5.如权利要求1的可变电阻随机存取存储器,其中所述缓冲层由n型氧化物形成。
6.如权利要求5的可变电阻随机存取存储器,其中所述缓冲层由选自Ir氧化物、Ru氧化物、Zn氧化物、和IZO构成的组的至少一种形成。
7.如权利要求1的可变电阻随机存取存储器,其中所述n+界面层和所述缓冲层由相同材料形成。
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