[发明专利]洁净容器扣合结构有效

专利信息
申请号: 200610156384.1 申请日: 2006-12-29
公开(公告)号: CN101209761A 公开(公告)日: 2008-07-02
发明(设计)人: 吴宗明 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: B65D45/02 分类号: B65D45/02;B65D43/02;H01L21/673
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 梁挥;祁建国
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 洁净 容器 结构
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种容器扣合结构,尤其涉及一种应用于无尘室的洁净容器的自锁式扣合结构。

背景技术

对于一般洁净容器而言,不论是光罩储放盒、晶片储放盒或者是玻璃基板储放盒等,其内部通常容置有光罩、晶片或者是玻璃基板,适应用于半导体制程的光罩、晶片或玻璃基板对于超高洁净储放环境的要求极高,以严格防止其受到微细粉尘颗粒的污染,以及静电或静电场的影响,现今的半导体工艺需求须达Class 1以上。也因此,光罩、晶片或玻璃基板于一般半导体制造厂或平面显视器制造厂中,必然于一超高洁净无尘环境中进行其工艺。而洁净容器即扮演光罩、晶片或玻璃基板于半导体工艺或平面显视器工艺中,传送、载卸与储放过程,以确保光罩、晶片或玻璃基板处于符合工艺超高洁净需求的环境。

以光罩盒为例,请参阅图1A为美国公开专利US 2004/0004704光罩盒的立体分解图,其中显示有一光罩盒10,且此光罩盒10包括有一底座11、及一上盖12,其中的上盖12盖设于底座11上,且上盖12相对二侧面121分别凹设有一凹槽122,于凹槽122内分别容置有一弹性片13。弹性片13分别包括有二弹性臂131,于每一弹性臂131的前段凸设有一凸缘133,其可嵌入于底座11所开设的横向凹槽111内而将上盖12卡合于底座11上。

然而,传统的弹性片13仅分别容入于凹槽122内,而为使弹性片13不会掉出,必须另外组设挡片14,借以将弹性片13固定于凹槽122内。但此种设计方式,因弹性臂131力臂较长,支点承受的扭矩较大,当弹性臂131承受反复开关运动时,容易因弹性疲乏而断裂或弯折、进而丧失其功能时,弹性片13需整件更换,另弹性片13需一挡片14以防止其脱落,如此弹性片13与挡片14间的死角除易积累微粒粉尘外,也不利于光罩盒10清洗烘干作业的进行。

另外,图1B所绘示另一现有技术的光罩盒的案例、图1C所绘示图1B的A局部放大示意图。在本现有技术中其扣合件15利用金属弹簧16作为扣合时推力的提供,外加金属盖板17,除提供扣合件15心轴旋转支撑,同时防止相关扣合组件脱落。金属弹簧16与金属盖板17遇酸碱气体及去离子水(DI Water)有锈蚀及产生金属微粒(particle)的疑虑。且此一现有技术与图1A的现有技术一样,扣合件与金属盖板间有太多的死角除易积累微粉尘外,也不利于光罩盒清洗烘干作业的进行。此现有技术也会增加零件的数量(扣合机构中零件总数14件),并非十分理想。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一减少扣合构件数量,可直接定位于盖体,并在扣合座体后形成自我锁固,以及增强弹性构件的洁净容器的扣合结构。

本发明提供一种洁净容器扣合结构,通过至少一扣合件可拆卸地结合于洁净容器的盖体上,使盖体得以于洁净容器的座体紧闭或开启,座体外框侧面具有至少一凹槽,盖体侧面具有罩盖座体外框的一内板及一外扩的外板,内板与外板间形成至少一容置槽供扣合件嵌合,容置槽的内板上设有一对应于凹槽的开孔,并在容置槽的外板上设有一定位孔和一对应于开孔的穴孔,扣合件包含一体成形的一主体、一定位部及一弹性扣臂,主体可为近似U型框体,定位部形成于主体一侧,具有一向外偏斜的弹片,弹片上具有一凸缘,凸缘对应并卡扣于定位孔,弹性扣臂形成于另一侧,弹性扣臂具有一弹性臂及形成于弹性臂端部的一拉引块,拉引块并具有一侧向凸缘,侧向凸缘穿过开孔而伸入凹槽内,使侧向凸缘的一顶面卡扣于凹槽的一内顶面。

为解决上述增强弹性构件的问题,本发明还包含一弹性辅助臂形成于弹性臂与主体之间,其弹性辅助臂至少一端部垂向或斜向连接于弹性臂或是主体上。

上述实施例的弹性辅助臂还可包括第一支臂与第二支臂,第一支臂或第二支臂为弧状,也或二支臂同为弧状。

上述实施例中,在侧向凸缘的顶面上,可增设至少一凸块,以减少侧向凸缘与座体凹槽扣合作动时的接触面积。

上述实施例中,为使盖体上的扣合件得更紧固地、自动地与座体扣合,其座体凹槽的内顶面可设为一外低内高的斜面,形成凹槽开口截面积小、内部截面积大的状态,配合侧向凸缘的顶面也改设为对应的斜面,使侧向凸缘卡入凹槽后,两斜面在解除扣锁的移动方向形成较大的摩擦力,形成自锁。

上述实施例的进一步改进,可于水平面或斜面的凹槽的内顶面与侧向凸缘的顶面上还设有至少一嵌合结构,可为至少一设于顶面的凸块与设于内顶面上的对应凹孔或至少一设于该顶面的凹孔与该内顶面的对应凸块。

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