[发明专利]嵌入式芯片封装结构有效
| 申请号: | 200610146770.2 | 申请日: | 2006-11-22 |
| 公开(公告)号: | CN101192586A | 公开(公告)日: | 2008-06-04 |
| 发明(设计)人: | 黄振宏;林贤杰;江国春;何信芳 | 申请(专利权)人: | 南亚电路板股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/498;H01L23/36 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵燕力 |
| 地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 嵌入式 芯片 封装 结构 | ||
技术领域
本发明有关于封装技术领域,特别是有关于一种具有较佳的散热效能的嵌入式芯片封装结构。
背景技术
随着集成电路技术的发展,高性能微处理器封装的设计越来越具有挑战性。未来的微处理器将有更多的信号引脚;引脚阻抗及引脚间串扰的控制要求更加严格;更大的功耗和更好的散热。对微电子封装而言,其电气性能和发热管理为两个主要挑战。电气上,封装要最大限度地保证信号完整性和半导体器件的工作频率,这项任务通常由于封装设计引入到器件-封装-主板的过大的总感抗而变得难以完成。另一方面,封装也负责半导体芯片所在区域的散热工作。
除去电气与散热的考虑,越来越小的最终产品要求封装尺寸减小并容许更密的输入输出连接。未来的微处理器还可能要求同一封装集成多个芯片、光电部件;部件间距最小化;部件间内连接数量的最大化;更苛刻的信号时序、阻抗匹配和噪声控制。综上述,现有的封装技术如FCPGA(flip-chip pin grid array)已不能满足要求。
为解决目前的封装技术所面临的瓶颈,英特尔(Intel)公司发展出一种称作「无凸块嵌入式封装(Bumpless Build-Up Layer,以下简称为BBUL)」技术,其与传统封装基本工艺主要不同之处在于BBUL不以微细锡球(solderball)与基板电气相连,而是直接将芯片(die)直接嵌入在基板上,与基板上的铜导线直接连接。
图1至图7绘示的是已知BBUL封装技术的简单示意图。如图1所示,首先提供一基材10,其具有一上表面10a以及一下表面10b。接着,如图2所示,在基材10中形成一贯穿上表面10a以及下表面10b的贯穿孔12。
然后,如图3所示,在基材10的下表面10b贴上一层胶带14,其具有一黏着层13,使胶带14得以黏着在基材10的下表面10b。此时,胶带14与先前形成的贯穿孔12构成一凹穴15。
如图4所示,接着,将一芯片20的主动面20a朝下置于凹穴15中,其中芯片20的主动面20a上设有复数个连接垫22,且芯片20的底面20b则朝上,并与基材10的上表面10a切齐。芯片20利用黏着层13固定在胶带14上。
接着,如图5所示,在基材10与芯片20之间的间隙内填入填充胶30,使芯片20得以固定在基材10中。然后,如图6所示,将胶带14撕除,暴露出芯片20的主动面20a。
最后,如图7所示,在基材10的下表面10b以及芯片20的主动面20a表面积层布线,形成金属内连线层40,包括介电层42、介电层44、介电层46、形成在各介电层中的金属导线、防焊阻剂层48以及锡球49。
从目前的技术角度来看,BBUL在进行表面积层布线工序中容易出现瑕疵,例如,工艺中需使用胶带支撑,在撕除胶带14后,芯片20的主动面20a上的连接垫22可能会发生残胶问题,这样会严重影响到成品的优良率。一旦成品优良率受到影响,采用BBUL封装技术设计的处理器产品在成本上,将远远超过目前的处理器产品。
此外,由于半导体芯片、填充胶30和基材10之间存在热膨胀系数(Coefficient of thermal expansion,CTE)的差异,所以在进行表面积层布线的时候可能会引起布线的龟裂现象。再者,利用已知BBUL封装技术所形成的封装体,其散热效能也有待改进。由此可知,已知BBUL封装技术仍有许多缺点需要克服与改进。
发明内容
本发明的目的在于提供一种嵌入式芯片封装结构,以解决上述已知技艺的缺点与问题。
本发明的目的是这样实现的,一种嵌入式芯片封装结构,该封装结构包含有:
一双面基板,该基板包含有一中间介电层、一第一金属层设于该中间介电层的第一表面上,一第二金属层设于该中间介电层的第二表面上;
一凹穴,形成在该第二金属层以及该中间介电层中,且该凹穴的底部为该第一金属层;
一芯片,设置于该凹穴内,该芯片的底面与该第一金属层热接触;
一增层材料层,覆盖在该第二金属层上以及该芯片的主动面上,且该增层材料层填入该芯片的侧边与该中间介电层之间的间隙;
至少一内连结线层,形成在该增层材料层上,并通过至少一接触插塞与设在该芯片的主动面上的连接垫电气连结;
其中该芯片在操作时所产生的热,可经由该第一金属层,直接快速的以传导方式传至外界。
该中间介电层包含有玻璃纤维或树脂。
另包含有一黏着层设于该芯片的底面与该第一金属层之间。
该黏着层包含有导热胶。
该增层材料层包含有ABF增层材料、环氧树脂或prepreg(纤维预浸布)绝缘材。
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